Neuer Sicherheits-Chip für Flugzeuge

Dr. Karla Hiller vom Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz zeigt Siliziumscheiben, die im Reinraum bearbeitet wurden. <br>Foto: TU Chemnitz/Uwe Tölle

Neuer Sicherheits-Chip für Flugzeuge. Forscher aus Chemnitz und Freiburg revolutionieren die Fertigung von Silizium-Sensoren für Navigationsanwendungen.

In Flugzeugen gehören Navigationssysteme, die mit Hilfe von Satellitensignalen die Position der Maschine bestimmen, längst zur Grundausstattung. Parallel dazu werden aus Sicherheitsgründen bordeigene Instrumente, so genannte Kurs-Lage-Referenzsysteme, eingesetzt. Der Ausfall eines einzelnen Systems führt somit nicht zwingend zu einem Versagen des gesamten Navigationssystems. Schlüsselkomponenten dieser Kurs-Lage-Referenzsysteme sind Beschleunigungs- und Drehratensensoren, an deren Weiterentwicklung weltweit geforscht wird.

Nach der bereits erfolgreichen Ablösung konventioneller feinmechanischer Beschleunigungssensoren durch Silizium-Mikrosensoren gelang nun Forschern der Firmen LITEF GmbH Freiburg und GEMAC mbH Chemnitz sowie des Zentrums für Mikrotechnologien (ZfM) der TU Chemnitz und der Chemnitzer Abteilung „Micro Devices and Equipment“ (MDE) des Fraunhofer-Institutes für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) Berlin auch bei Drehratensensoren ein entscheidender Durchbruch.

In den vergangenen drei Jahren entwickelten sie völlig neuartige Sensoren zur Messung der Drehrate. Zudem gelang dem Forscherteam eine technologische Meisterleistung bei der Fertigung dieser Sensoren: Mit Hilfe eines neuen und unterdessen auch patentierten Verfahrens werden funktionsfähige Prototypen vollständig aus einkristallinem Silizium unter Nutzung ganz spezieller Ätz- und Verbindungstechnologien hergestellt. Gefördert wurde das Vorhaben durch das Bundesministerium für Bildung und Forschung im Projekt „EKOFEM“ (Elektronische Kompensation von Fertigungstoleranzen in Mikrosystemtechnik-Produkten).

„Drehratensensoren gehören neben vielen anderen Sensoren zu den Wahrnehmungsorganen eines Flugzeugs. Sie setzen die gemessenen physikalischen Größen in elektrische Signale um, die von den Steuergeräten des Flugzeuges benötigt werden“, erläutert Dr. Karla Hiller vom Chemnitzer Zentrum für Mikrotechnologien. „Das Besondere an den neuen Drehratensensoren ist, das auf einer Chipfläche von nur 25 mm² sehr präzise schwingende Strukturen erzeugt werden, die im Vakuum sehr hohe Gütefaktoren erreichen und damit hervorragende Ausgangsbedingungen für eine sehr empfindliche Ermittlung der Drehgeschwindigkeit liefern“, erklärt die Wissenschaftlerin. Vor ihrem Einsatz in Kleinflugzeugen werden die neuen Drehratensensoren in Kurs-Lage-Referenzsystemen der Firma LITEF GmbH getestet.

Weitere Informationen erteilen:

Dr. Karla Hiller, E-Mail: karla.hiller@zfm.tu-chemnitz.de, Tel. 0371-531-3276
Mario Baum, E-Mail: mario.baum@zfm.tu-chemnitz.de, Tel. 0371-5397-926

Media Contact

Dipl.-Ing. Mario Steinebach idw

Weitere Informationen:

http://www.tu-chemnitz.de

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Informationstechnologie

Neuerungen und Entwicklungen auf den Gebieten der Informations- und Datenverarbeitung sowie der dafür benötigten Hardware finden Sie hier zusammengefasst.

Unter anderem erhalten Sie Informationen aus den Teilbereichen: IT-Dienstleistungen, IT-Architektur, IT-Management und Telekommunikation.

Zurück zur Startseite

Kommentare (0)

Schreiben Sie einen Kommentar

Neueste Beiträge

Atomkern mit Laserlicht angeregt

Dieser lange erhoffte Durchbruch ermöglicht neuartige Atomuhren und öffnet die Tür zur Beantwortung fundamentaler Fragen der Physik. Forschenden ist ein herausragender Quantensprung gelungen – sprichwörtlich und ganz real: Nach jahrzehntelanger…

Wie das Immunsystem von harmlosen Partikeln lernt

Unsere Lunge ist täglich den unterschiedlichsten Partikeln ausgesetzt – ungefährlichen genauso wie krankmachenden. Mit jedem Erreger passt das Immunsystem seine Antwort an. Selbst harmlose Partikel tragen dazu bei, die Immunantwort…

Forschende nutzen ChatGPT für Choreographien mit Flugrobotern

Robotik und ChatGPT miteinander verbinden… Prof. Angela Schoellig von der Technischen Universität München (TUM) hat gezeigt, dass Large Language Models in der Robotik sicher eingesetzt werden können. ChatGPT entwickelt Choreographien…

Partner & Förderer