Mehr Sicherheit für den Mikro-Medizingerätebau: F25 von Carl Zeiss

Messgerät F25 von Carl Zeiss für die Qualitätssicherung mikrosystemtechnisch hergestellter Bauteile.<br>

F25 gestattet die Bestimmung von Maß, Form und Lage an Bauteilen, die durch Mikrobearbeitung entstehen. Nur wenige Zehntelmillimeter große Geometrien lassen sich mit der F25 abtasten.

Innerhalb des Messvolumens des 3D-Messgerätes von einem Kubikdezimeter beträgt die Messunsicherheit 250 Nanometer bei einer Auflösung von 7,5 Nanometern. Diese Auflösung und das optimierte Regelverhalten der Linearantriebe ermöglichen es, mit kleinsten Antastkräften auch in Bohrungen unter einem Millimeter taktil zu messen.

Ein optischer Sensor steht für 2D-Messungen zur Verfügung. Mikroskopobjektive wurden für das Messen an Mikrobauteilen optimiert. Eine Kamera unterstützt beim Antasten der winzigen Merkmale und erleichtert die Lernprogrammierung.

Ideal für 3D-Messungen an Mikrobauteilen, deren Merkmale mit bloßem Auge kaum sichtbar sind, ist die CAD-basierte Software CALYPSO®. Messprogramme werden mit CAD programmiert und vor dem Messen maschinenfern auf Kollisionen und Umfahrwege geprüft.

So wird sichergestellt, dass der filigrane Taster alle Merkmale störungsfrei erreicht. Mit CALYPSO können aus einem kompletten Messprogramm auch beliebige Merkmale gewählt und selektiv gemessen werden – ein entscheidender Vorteil bei Detailmessungen zur Fertigungsfortschrittskontrolle.

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