Schichtdickenbestimmung im Nanometerbereich

Dieses Verfahren dient der schnellen und unkomplizierten quantitativen Bestimmung von Schichtdicken. Bereits wenige Nanometer dicke Schichten oder Spots, die mit Hilfe biologischer, chemischer oder physikalischer Effekte auf Probenträgern abgeschieden werden, können mit diesem Verfahren wesentlich genauer detektiert werden als mit bisher bekannten Methoden. Die hohe Genauigkeit des Verfahrens und der entsprechenden Vorrichtung wird durch die Kombination von Ellipsometrie und Oberflächenplasmonenresonanz erreicht. Polarisierte elektromagnetische Strahlung wird auf der der Probe abgewandten Seite des Probenträgers flächig eingestrahlt. Aus der Reflexion können simultan Daten für eine große Menge von Proben erhoben werden, beispielsweise die Detektion der Hybridisierung bei DNA-Strängen oder die Bestimmung der Kopplungsstärke bei Antikörper-Antigenreaktionen auf einem Bio-Chip.

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