Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Silizium verliert seinen spröden Ruf

12.09.2002


Die rasterelektronische Aufnahme zeigt einen etwa 2 Millimeter großen Ausschnitt einer durch Hochtemperatur-Umformen hergestellten dreidimensionalen Silizium-Mikrostruktur. Foto: TU Chemnitz/Fachgruppe Werkstoffe der Elektrotechnik/Elektronik


Hochtemperatur-Umformen ermöglicht neue Anwendungen in der Mikrosystemtechnik

... mehr zu:
»Silizium

Silizium ist bei Zimmertemperatur sehr spröde. Deshalb lassen sich mikromechanische Strukturen hauptsächlich nur durch chemisches Herausätzen einzelner Bereiche aus dünnen Siliziumscheiben (Wafer) herstellen. Die so entstandenen Strukturen liegen vollständig innerhalb der ursprünglichen Wafer-Begrenzung. Um jedoch neue Anwendungen in der Mikrotechnik zu ermöglichen, machten sich Wissenschaftler der Fachgruppe Werkstoffe der Elektrotechnik/Elektronik an der TU Chemnitz eine besondere Eigenschaft des Siliziums zu Nutze. Das Halbleitermaterial lässt sich bei Temperaturen über 650 ºC sehr gut plastisch deformieren.

Durch gezieltes Biegen oder Dehnen von Teilstrukturen gelang es den Forschern um Prof. Dr. Joachim Frühauf und Dr. Eva Gärtner, völlig neuartige dreidimensionale Formen herzustellen. Diese Elemente ragen teilweise aus der ursprünglichen Wafer-Oberfläche heraus. Gemeinsam mit dem Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz wurden beispielsweise Festkörpergelenke und Federführungen, winzige Gleitführungen, Mikrospiegel, wenige Millimeter große Greifer und Mikro-Montagesysteme gefertigt. Neben einer Technologievariante mit Ofenerwärmung wurde in Kooperation mit der Hochschule Mittweida (FH) auch das Biegen mittels Laserstrahl erfolgreich eingesetzt, wobei nur die zu biegenden Bereiche der hohen Temperatur ausgesetzt sind. Die von der Deutschen Forschungsgemeinschaft geförderte Untersuchung der mechanischen Eigenschaften des Siliziums beweist, dass nach dem Hochtemperatur-Umformen eine unverändert hohe elastische Deformierbarkeit gegeben ist.


Vom 30. September bis 2. Oktober 2002 werden erstmals einige geätzte und plastisch umgeformte Silizium-Mikrostrukturen auf der MATERIALICA in München der Öffentlichkeit vorgestellt. Auf dem Gemeinschaftsstand Sachsen/Sachsen-Anhalt/Thüringen "Forschung für die Zukunft" (Halle B1/Stand 204) zeigen die Wissenschaftler, welche neuen industriellen Anwendungen von der Mikromechanik bis hin zur Feinwerktechnik möglich sind.

Dipl.-Ing. Mario Steinebach | Pressemitteilung

Weitere Berichte zu: Silizium

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Messenachrichten:

nachricht Roboter zeichnet Skizzen von Messebesuchern
22.06.2018 | Fraunhofer-Institut für Algorithmen und Wissenschaftliches Rechnen SCAI

nachricht Automatisierung und Produktionstechnik – Wandlungsfähig – Präzise – Digital
19.06.2018 | Fraunhofer IFAM

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Messenachrichten >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Leichter abheben: Fraunhofer LBF entwickelt Flugzeugrad aus Faser-Kunststoff-Verbund

Noch mehr Reichweite oder noch mehr Nutzlast - das wünschen sich Fluggesellschaften für ihre Flugzeuge. Wegen ihrer hohen spezifischen Steifigkeiten und Festigkeiten kommen daher zunehmend leichte Faser-Kunststoff-Verbunde zum Einsatz. Bei Rümpfen oder Tragflächen sind permanent Innovationen in diese Richtung zu beobachten. Um dieses Innovationsfeld auch für Flugzeugräder zu erschließen, hat das Fraunhofer-Institut für Betriebsfestigkeit und Systemzuverlässigkeit LBF jetzt ein neues EU-Forschungsvorhaben gestartet. Ziel ist die Entwicklung eines ersten CFK-Bugrads für einen Airbus A320. Dabei wollen die Forscher ein Leichtbaupotential von bis zu 40 Prozent aufzeigen.

Faser-Kunststoff-Verbunde sind in der Luftfahrt bei zahlreichen Bauteilen bereits das Material der Wahl. So liegt beim Airbus A380 der Anteil an...

Im Focus: IT-Sicherheit beim autonomen Fahren

FH St. Pölten entwickelt neue Methode für sicheren Informationsaustausch zwischen Fahrzeugen mittels Funkdaten

Neue technische Errungenschaften wie das Internet der Dinge oder die direkte drahtlose Kommunikation zwischen Objekten erhöhen den Bedarf an effizienter...

Im Focus: Innovative Handprothesensteuerung besteht Alltagstest

Selbstlernende Steuerung für Handprothesen entwickelt. Neues Verfahren lässt Patienten natürlichere Bewegungen gleichzeitig in zwei Achsen durchführen. Forscher der Universitätsmedizin Göttingen (UMG) veröffentlichen Studie im Wissenschaftsmagazin „Science Robotics“ vom 20. Juni 2018.

Motorisierte Handprothesen sind mittlerweile Stand der Technik bei der Versorgung von Amputationen an der oberen Extremität. Bislang erlauben sie allerdings...

Im Focus: Temperaturgesteuerte Faser-Lichtquelle mit flüssigem Kern

Die moderne medizinische Bildgebung und neue spektroskopische Verfahren benötigen faserbasierte Lichtquellen, die breitbandiges Laserlicht im nahen und mittleren Infrarotbereich erzeugen. Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler des Leibniz-Instituts für Photonische Technologien Jena (Leibniz-IPHT) zeigen in einer aktuellen Veröffentlichung im renommierten Fachblatt Optica, dass sie die optischen Eigenschaften flüssigkeitsgefüllter Fasern und damit die Bandbreite des Laserlichts gezielt über die Umgebungstemperatur steuern können.

Das Besondere an den untersuchten Fasern ist ihr Kern. Er ist mit Kohlenstoffdisulfid gefüllt - einer flüssigen chemischen Verbindung mit hoher optischer...

Im Focus: Temperature-controlled fiber-optic light source with liquid core

In a recent publication in the renowned journal Optica, scientists of Leibniz-Institute of Photonic Technology (Leibniz IPHT) in Jena showed that they can accurately control the optical properties of liquid-core fiber lasers and therefore their spectral band width by temperature and pressure tuning.

Already last year, the researchers provided experimental proof of a new dynamic of hybrid solitons– temporally and spectrally stationary light waves resulting...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

VideoLinks
Industrie & Wirtschaft
Veranstaltungen

Leben im Plastikzeitalter: Wie ist ein nachhaltiger Umgang mit Plastik möglich?

21.06.2018 | Veranstaltungen

Kongress BIO-raffiniert X – Neue Wege in der Nutzung biogener Rohstoffe?

21.06.2018 | Veranstaltungen

DFG unterstützt Kongresse und Tagungen im August 2018

20.06.2018 | Veranstaltungen

VideoLinks
Wissenschaft & Forschung
Weitere VideoLinks im Überblick >>>
 
Aktuelle Beiträge

Leichter abheben: Fraunhofer LBF entwickelt Flugzeugrad aus Faser-Kunststoff-Verbund

22.06.2018 | Materialwissenschaften

Lernen und gleichzeitig Gutes tun? Baufritz macht‘s möglich!

22.06.2018 | Unternehmensmeldung

GFOS und skip Institut entwickeln gemeinsam Prototyp für Augmented Reality App für die Produktion

22.06.2018 | Unternehmensmeldung

Weitere B2B-VideoLinks
IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics