4,6 Millionen Euro für Jülicher Nanoelektroniker

Neue Materialien für die Anforderungen der Chipindustrie von morgen sind Ziel der Jülicher Forscher. Immer kleinere Strukturen unterhalb von 32 Nanometern (etwa einem zehntausendstel Haaresbreite) werden möglich. Gleichzeitig können industrieübliche Siliziumscheiben („Wafer“) bis zu einem Durchmesser von 20 Zentimetern dank der neuen Geräte auch schon in der Forschung genutzt werden.

„Durch industrienahe Verfahren können wir den Erkenntnistransfer zwischen Labor und Chip-Fabrik beschleunigen“, sagte Prof. Hans Lüth, Forschungsdirektor für Schlüsseltechnologien in Jülich, anlässlich der heutigen Auftaktveranstaltung zur „Forschungsplattform Nanoelektronik“. Mikroelektronik spielt schon heute eine enorme Rolle. Beispielsweise hängen rund 80 Prozent aller Innovationen der Automobilindustrie von ihr ab. Die Elektronikindustrie weltweit macht Umsätze von rund 800 Milliarden Euro. „Grundlagenforschung in Deutschland garantiert, dass auch die Entwicklung hin zur Nanoelektronik nicht an uns vorbei geht“, erklärt Lüth.

Das Forschungszentrum Jülich ließ bereits ein Herstellungsverfahren für eine neue Klasse von Halbleitermaterialien patentieren: Verspanntes Silizium (SSOI). Diese Jülicher Entwicklung gilt als Schlüssel für kompakte und schnelle Nanotransistoren. „Unser Material zusammen mit den Geräten eröffnen vollkommen neue Möglichkeiten“, erläuterte Prof. Siegfried Mantl, in dessen Gruppe die neuen Anlagen bis September installiert werden. „Wir sind nun in der Lage, auch oxidische Materialien kontrolliert großflächig mit atomarer Dicke zu erzeugen.“ Unter den sechs neuen Geräten sind Beschichtungs- und Sputter-Anlagen sowie Trockenätz- und Heizmaschinen, die einerseits die nötige Präzision im Nanobereich erreichen und andererseits mit den großen Wafern der Industrie umgehen können.

„Investitionen in leistungsfähige Infrastrukturen sind Grundvoraussetzungen für Exzellenz in Forschung und Entwicklung“, betonte Thomas Rachel, Parlamentarischer Staatssekretär bei der Bundesministerin für Bildung und Forschung. In Jülich könne man aber glücklicherweise auf bereits bestehende Exzellenz aufbauen. Die Jülicher Exzellenz sollte in Zukunft noch verstärkt von Industrie und Forschung genutzt werden, um diesen Standtortvorteil in Deutschland gezielt zu nutzen.

Eine leistungsfähige Forschungsplattform in Jülich unterstützt nicht nur die Wettbewerbsfähigkeit der deutschen Forschung, sondern auch die der deutschen Halbleiterindustrie, etwa in Dresden. Jülicher Forschung spielt sich weit im Vorfeld der industriellen Entwicklung ab, jedoch ermöglichen industrienahe Geräte und Prozesse einen unmittelbaren Transfer der Ergebnisse. Die Forschungsplattform für Nanoelektronik unterhalb von 32 Nanometern bildet eine Basis für die Informationstechnologie von morgen und soll in Zusammenarbeit mit der RWTH Aachen kontinuierlich ausgebaut und externen Forschern zugänglich gemacht werden.