Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

XUV-Spektralphotometer zur kostengünstigen Charakterisierung von Optiken entwickelt

28.02.2007
Präsentation der Ergebnisse vom InnoNet-Projekt SpeXUV am 14. März in Hannover

Der Trend der Halbleiterindustrie hin zu im­mer kleineren Strukturen unter Zuhilfe­nahme von Strahlung immer kürzerer Wellenlänge hat in der Vergangenheit eine Vielfalt innova­ti­ver Produkte ermöglicht. In den kommenden Jah­ren wird für die industrielle Fertigung Strah­lung im extremen Ultraviolett­ zunehmend an Bedeu­tung gewinnen.

Damit rückt die Reali­sie­rung von praxisnahen EUV/XUV-Strahl­quel­len mittlerer und kleiner Leistung für Anwendungen auch außerhalb der Lithografie in greifbare Nähe. Der hieraus erwachsende Bedarf an Mess­verfahren zur Charakteri­sie­rung von Kompo­nen­ten für diesen Spektral­bereich hat die Verbund­partner 2003 zur Initiierung des Forschungsnetzwerks SpeXUV - "Anwen­­dungsnahe Analyseverfahren mittels XUV-­Spektralphoto­metrie" - im Rahmen des BMWi-Förderprogramms InnoNet veran­lasst.

Am 14. März werden die Ergebnisse im Rahmen eines PhotonicNet-Forums am Laser Zentrum Hannover präsentiert. Im Mittelpunkt steht der im Projekt entwickelte Prototyp eines XUV-Spektral­photometers. Des Weiteren sind Fachvorträge zur Ent­wick­lung von Labor­strahlquellen für extreme UV-Strahlung sowie praktische Vorführungen und Diskussionsforen über Einsatz­gebiete der Messverfahren auch außerhalb der EUV-Halbleiter­lithographie vorgesehen.

Ziel des Netzwerks war es, geeignete Verfahren zur Charakterisierung neuartiger Materialien und Komponenten in Bezug auf ihre Einsetzbarkeit im EUV/XUV-Spektralbereich zu erarbeiten und eine kostengünstige Umsetzung für kleine und mittlere Unternehmen sowie Forschungs­institute zu gewährleisten. Dies ist mit dem im Verbundprojekt entstandenen XUV-Spektral­photometer gelungen. Es lässt sich zur Charakterisierung, Optimierung und Qualitätssicherung spezieller Schichtsysteme sowohl in der grundlagenorientierten Forschung als auch in der Halbleiterlithographie anwenden. Die Entwicklung von Schichtsystemen und Optikkompo­nen­ten wird damit zukünftig schneller und preisgünstiger, weil nicht mehr auf Mess­apparaturen an Beschleunigern und Groß­for­schungs­einrich­tungen zurückgegriffen werden muss.

Den wissenschaftlichen Kern des Ende 2006 abgeschlossenen Forschungsverbundes SpeXUV bildeten das Institut für Quantenoptik der Universität Hannover, das Laser-Laboratorium Göttingen und das koor­di­nie­ren­de Laser Zentrum Hannover. Beteiligt waren außerdem acht Industrieunternehmen, darunter die niedersächsischen Firmen Xtreme technologies, phoenix|euv, Trinos, Laseroptik und Metrolux.

Koordination SpeXUV:

Laser Zentrum Hannover e.V.
Laserkomponenten / Charakterisierung
Dr. Kai Starke
Tel. 0511 / 2788-244
Mail: K.Starke@lzh.de
Veranstaltungsorganisation:
PhotonicNet GmbH
Kompetenznetz Optische Technologien
Ann Haselroth
Tel. 0511 / 277 16 42
Mail: haselroth@photonicnet.de

Anja Nieselt-Achilles | idw
Weitere Informationen:
http://www.photonicnet.de/veranstaltungen/angebote-photonicnet/events-2007/forum-spexuv-14-03.2007/pn_flyerspexuv.pdf

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Veranstaltungsnachrichten:

nachricht Künftige Rohstoffexperten aus aller Welt in Freiberg zur Winterschule
18.01.2017 | Technische Universität Bergakademie Freiberg

nachricht Bundesweiter Astronomietag am 25. März 2017
17.01.2017 | Max-Planck-Institut für Astronomie

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Veranstaltungsnachrichten >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Textiler Hochwasserschutz erhöht Sicherheit

Wissenschaftler der TU Chemnitz präsentieren im Februar und März 2017 ein neues temporäres System zum Schutz gegen Hochwasser auf Baumessen in Chemnitz und Dresden

Auch die jüngsten Hochwasserereignisse zeigen, dass vielerorts das natürliche Rückhaltepotential von Uferbereichen schnell erschöpft ist und angrenzende...

Im Focus: Wie Darmbakterien krank machen

HZI-Forscher entschlüsseln Infektionsmechanismen von Yersinien und Immunantworten des Wirts

Yersinien verursachen schwere Darminfektionen. Um ihre Infektionsmechanismen besser zu verstehen, werden Studien mit dem Modellorganismus Yersinia...

Im Focus: How gut bacteria can make us ill

HZI researchers decipher infection mechanisms of Yersinia and immune responses of the host

Yersiniae cause severe intestinal infections. Studies using Yersinia pseudotuberculosis as a model organism aim to elucidate the infection mechanisms of these...

Im Focus: Interfacial Superconductivity: Magnetic and superconducting order revealed simultaneously

Researchers from the University of Hamburg in Germany, in collaboration with colleagues from the University of Aarhus in Denmark, have synthesized a new superconducting material by growing a few layers of an antiferromagnetic transition-metal chalcogenide on a bismuth-based topological insulator, both being non-superconducting materials.

While superconductivity and magnetism are generally believed to be mutually exclusive, surprisingly, in this new material, superconducting correlations...

Im Focus: Erforschung von Elementarteilchen in Materialien

Laseranregung von Semimetallen ermöglicht die Erzeugung neuartiger Quasiteilchen in Festkörpersystemen sowie ultraschnelle Schaltung zwischen verschiedenen Zuständen.

Die Untersuchung der Eigenschaften fundamentaler Teilchen in Festkörpersystemen ist ein vielversprechender Ansatz für die Quantenfeldtheorie. Quasiteilchen...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Event News

12V, 48V, high-voltage – trends in E/E automotive architecture

10.01.2017 | Event News

2nd Conference on Non-Textual Information on 10 and 11 May 2017 in Hannover

09.01.2017 | Event News

Nothing will happen without batteries making it happen!

05.01.2017 | Event News

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

Der erste Blick auf ein einzelnes Protein

18.01.2017 | Biowissenschaften Chemie

Das menschliche Hirn wächst länger und funktionsspezifischer als gedacht

18.01.2017 | Biowissenschaften Chemie

Zur Sicherheit: Rettungsautos unterbrechen Radio

18.01.2017 | Verkehr Logistik