Galliumnitrit-Halbleiter
Das Schutzrecht beschreibt nun ein Verfahren zum Züchten von Galliumnitrid-Halbleitermaterial auf einem Saphir-Substrat. Das Substrat kann zur Herstellung von elektronischen Bauelementen oder als homoepitaktisches Substrat (d.h., es kommt zur Mineralienbildung ohne Fremdeinwirkung, dem sog. „Impfen“ mit Kristallisationskernen) für das Wachstum von weiteren Kristallschichten mit gleicher kristallographischer Orientierung genutzt werden.
Konkreter Gegenstand des Schutzrechts ist ein Verfahren zum Wachsen bzw. Züchten von GaN auf einem Saphirsubstrat. Dieses Verfahren beinhaltet mehrere Schritte zum Aufwachsen eines einkristallinen GaN: (1) Galliumvorrat wird aus einem Reaktor unter Stickstoff (Schutzgasatmosphäre) und Ammoniak und Salzsäuregas bei einem wesentlich konstanten Partialdruckverhältnis von 30/40 und einer SubstratTemperatur von 550°C bis 650°C in einer Prozesszeit von 5 bis 15 Minuten auf dem Saphirsubstrat aufgewachsen, (2) Aufrechterhalten der Schutzgasatmosphäre und unter Anwesenheit von Ammoniak Erhöhung der Substarttemperatur auf 1000°C bis 1050°C, (3) konstante Prozessbedingungen für weitere 20 bis 30 Minuten, (4) Aufrechterhalten der Prozessbedingungen und erneuter Zufluss an Salzsäure.
Weitere Informationen: PDF
PVA Mecklenburg-Vorpommern AG
Tel.: +49 (0)381/49 74 74 0
Ansprechpartner
Moritz v. Grotthuss, Dr. Rüdiger Werp
Media Contact
Alle Nachrichten aus der Kategorie: Technologieangebote
Neueste Beiträge
Neue universelle lichtbasierte Technik zur Kontrolle der Talpolarisation
Ein internationales Forscherteam berichtet in Nature über eine neue Methode, mit der zum ersten Mal die Talpolarisation in zentrosymmetrischen Bulk-Materialien auf eine nicht materialspezifische Weise erreicht wird. Diese „universelle Technik“…
Tumorzellen hebeln das Immunsystem früh aus
Neu entdeckter Mechanismus könnte Krebs-Immuntherapien deutlich verbessern. Tumore verhindern aktiv, dass sich Immunantworten durch sogenannte zytotoxische T-Zellen bilden, die den Krebs bekämpfen könnten. Wie das genau geschieht, beschreiben jetzt erstmals…
Immunzellen in den Startlöchern: „Allzeit bereit“ ist harte Arbeit
Wenn Krankheitserreger in den Körper eindringen, muss das Immunsystem sofort reagieren und eine Infektion verhindern oder eindämmen. Doch wie halten sich unsere Abwehrzellen bereit, wenn kein Angreifer in Sicht ist?…