Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Extrem dünne Mikrochips

24.11.2006
Das Institut fur Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) entwickelt in Zusammenarbeit mit der Universität Stuttgart die weltweit dünnsten Siliziumchips

Hintergrund:


Von IMS CHIPS hergestellter ultradünner Mikrochip: Größe ca. 4x4 mm, Dicke 20 μm

Siliziumwafer weisen typischerweise Dicken von 1 Millimeter auf, um ihnen eine hinreichend hohe mechanische Steifigkeit und Stabilität fur die zuverlässige Prozessierbarkeit in den automatisierten Fertigungslinien zu verleihen.

Neuerdings besteht sehr groses Interesse an extrem dünnen Chips fur Anwendungen mit dreidimensionalen integrierten Schaltkreisen aus gestapelten Chips (3D IC), fur flexible Elektronik in der Sicherheitstechnik (z.B. RF-Tags), für die Leistungselektronik und für extrem kleine Chips (Smart Dust). Die traditionellen Verfahren zur Herstellung gedünnter Chips beruhen auf dem Dünnschleifen von Wafern, aus denen in herkömmlicher Weise Chips herausgesägt werden. Damit sind typischerweise Chipdicken von 200 Mikrometer realisierbar. IMS CHIPS gelang der Durchbruch mit der Entwicklung eines Verfahrens zur Herstellung von Chips mit einer reproduzierbaren Dicke von 20 Mikrometern.

... mehr zu:
»Chip »Dicke »IMS »Mikrometer »Schaltkreis

Das neuartige Herstellungsverfahren:

Das von IMS CHIPS entwickelte Verfahren beruht auf der Anbringung von Hohlräumen auf dem Siliziumwafer wenige Mikrometer unterhalb der Chipoberfläche, die nach der Integration der elektronischen Schaltkreise ein Herausbrechen der Chips aus der Waferoberfläche gestatten. Im Gegensatz zum herkommlichen Dünnen der Wafer und Sägen der Chips konnen nicht nur reproduzierbar dünne Chips mit Dicken von 20 Mikrometern und weit darunter realisiert werden, sondern der Restwafer kann auch wiederverwendet werden. Das neuartige Verfahren wird erstmals auf dem renommierten International Electron Devices Meeting (IEDM) in der Rubrik .Late Newsg am 12. Dezember 2006 in San Francisco vorgestellt werden.

Institut fur Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS)

Das Institut fur Mikroelektronik Stuttgart ist eine Stiftung des Landes Baden-Württemberg. Das Institut betreibt wirtschaftsnahe Forschung auf dem Gebiet der Mikroelektronik in den Bereichen Silizium-Technologie, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASIC), Photolithografie und Bildsensorik und engagiert sich in der beruflichen Weiterbildung. Das Institut ist Partner kleiner und mittlerer Unternehmen insbesondere in Baden-Württemberg und arbeitet mit international führenden Halbleiterunternehmen und Zulieferern zusammen.

Victoria Syassen | IMS
Weitere Informationen:
http://www.ims-chips.de

Weitere Berichte zu: Chip Dicke IMS Mikrometer Schaltkreis

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Informationstechnologie:

nachricht Wellen schlagen
29.06.2017 | Institute of Science and Technology Austria

nachricht Warnsystem KATWARN startet international vernetzten Betrieb
27.06.2017 | FOKUS - Fraunhofer-Institut für Offene Kommunikationssysteme

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Informationstechnologie >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Der schärfste Laserstrahl der Welt

Physikalisch-Technische Bundesanstalt entwickelt einen Laser mit nur 10 mHz Linienbreite

So nah an den idealen Laser kam bisher noch keiner: In der Theorie hat ein Laser zwar genau eine einzige Farbe (Frequenz bzw. Wellenlänge). In Wirklichkeit...

Im Focus: Wellen schlagen

Computerwissenschaftler verwenden die Theorie von Wellenpaketen, um realistische und detaillierte Simulationen von Wasserwellen in Echtzeit zu erstellen. Ihre Ergebnisse werden auf der diesjährigen SIGGRAPH Konferenz vorgestellt.

Denkt man an einen See, einen Fluss oder an das Meer, so sieht man vor sich, wie sich das Wasser kräuselt, wie Wellen gegen die Felsen schlagen, wie Bugwellen...

Im Focus: Making Waves

Computer scientists use wave packet theory to develop realistic, detailed water wave simulations in real time. Their results will be presented at this year’s SIGGRAPH conference.

Think about the last time you were at a lake, river, or the ocean. Remember the ripples of the water, the waves crashing against the rocks, the wake following...

Im Focus: Schnelles und umweltschonendes Laserstrukturieren von Werkzeugen zur Folienherstellung

Kosteneffizienz und hohe Produktivität ohne dabei die Umwelt zu belasten: Im EU-Projekt »PoLaRoll« entwickelt das Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie IPT aus Aachen gemeinsam mit dem Oberhausener Fraunhofer-Institut für Umwelt-, Sicherheit- und Energietechnik UMSICHT und sechs Industriepartnern ein Modul zur direkten Laser-Mikrostrukturierung in einem Rolle-zu-Rolle-Verfahren. Ziel ist es, mit Hilfe dieses Systems eine siebartige Metallfolie als Demonstrator zu fertigen, die zum Sonnenschutz von Glasfassaden verwendet wird: Durch ihre besondere Geometrie wird die Sonneneinstrahlung reduziert, woraus sich ein verminderter Energieaufwand für Kühlung und Belüftung ergibt.

Das Fraunhofer IPT ist im Projekt »PoLaRoll« für die Prozessentwicklung der Laserstrukturierung sowie für die Mess- und Systemtechnik zuständig. Von den...

Im Focus: Das Auto lernt vorauszudenken

Ein neues Christian Doppler Labor an der TU Wien beschäftigt sich mit der Regelung und Überwachung von Antriebssystemen – mit Unterstützung des Wissenschaftsministeriums und von AVL List.

Wer ein Auto fährt, trifft ständig Entscheidungen: Man gibt Gas, bremst und dreht am Lenkrad. Doch zusätzlich muss auch das Fahrzeug selbst ununterbrochen...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

Marine Pilze – hervorragende Quellen für neue marine Wirkstoffe?

28.06.2017 | Veranstaltungen

Willkommen an Bord!

28.06.2017 | Veranstaltungen

Internationale Fachkonferenz IEEE ICDCM - Lokale Gleichstromnetze bereichern die Energieversorgung

27.06.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

Der schärfste Laserstrahl der Welt

29.06.2017 | Physik Astronomie

Maßgeschneiderte Nanopartikel gegen Krebs gesucht

29.06.2017 | Biowissenschaften Chemie

Wolken über der Wetterküche: Die Azoren im Fokus eines internationalen Forschungsteams

29.06.2017 | Geowissenschaften