Das erste Mikroskop für 1000 Gigahertz-Chips: Neue Messtechnik für die schnellsten Halbleiterchips der Welt
In den Labors der Chiphersteller wird an diesen Hochleistungsprozessoren längst gearbeitet. Doch die hochpotenten Winzlinge stellen die Technik vor neue Herausforderungen: Ihr Funktionieren kann nämlich mit den konventionellen Technologien nicht mehr genau genug überprüft werden. Eine völlig neue Messtechnik ist dazu erforderlich. Das an der Technischen Universität Braunschweig entwickelte Terahertz-Rastermikroskop bietet jetzt erstmals ein präzises Messverfahren für die Chips der Zukunft: Eine der wesentlichen Voraussetzungen dafür, dass diese in Serie produziert und marktfähig werden können.
Das Gerät ist in der Lage, die Elektronik bis auf wenige tausendstel Millimeter an den zu untersuchenden Chip heranzubringen. Auf diese Weise können die Signale aus dem Chip berührungslos gemessen werden. Dadurch entstehen keine Datenverluste, wie sie beim herkömmlichen Signaltransport über Kabel zustande kommen würden. Das Terahertz-Rastermikroskop wurde am Institut für Elektrische Messtechnik und Grundlagen der Elektrotechnik der TU Braunschweig entwickelt. "Als Sensoren verwenden wir ultraschnelle sogenannte Josephson-Kontakte aus Hochtemperatursupraleitern", erläutert Institutsleiter Prof. Meinhard Schilling. "Sie sind auf einer winzigen Prüfspitze angebracht und können erstmals an jedem Ort des Chips signalführende Leitungen mit höchster Präzision anfahren. Dort können sie die Signale berührungslos erkennen und sogar Frequenzen von mehreren Terahertz analysieren."
Die Entwicklung liefert damit eine Schlüsseltechnologie für die Chipherstellung nicht nur der nächsten, sondern auch der übernächsten Generation. In Zusammenarbeit mit der Firma Infineon soll das Mikroskop jetzt erstmals zum Einsatz kommen.
Ansprechpartner:
Prof. Dr. Meinhard Schilling
Telefon: 0531 / 391-3866
Telefax: 0531 / 391-5768
E-Mail:
Technische Universität Braunschweig
Institut für Elektrische Messtechnik
und Grundlagen der Elektrotechnik
Hans-Sommer-Straße 66
D-38106 Braunschweig
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