Piezoantrieb für Nanopositionierung

Der PXY 201 CAP bietet eine freie Apertur von 30 mal 30 Quadratmillimeter und einen Verfahrweg von 250 Mikrometer ungeregelt – beziehungsweise 200 Mikrometer im geregelten Betrieb. Mittels einer integrierten hochauflösenden kapazitiven Wegmess-Sensorik können Drift und Hysterese ausgeglichen werden. Das System bietet höchste Positionsstabilität, Linearität, Wiederholbarkeit und Genauigkeit. Digitale Controller des Herstellers ermöglichen eine Anpassung der Parameter während des Systembetriebs. Durch die FEM-optimierte Festkörpergelenkführung hat das System eine hohe Bahntreue. Durch das Framedesign der Führung ist der Nanopositionier- und Mikro-Scanntisch robust gegen große Beladungen. Zum Minimieren von unerwünschten Überschwingen und Verkürzen der Einstellzeiten im Scannbetrieb ist der PXY 201 CAP mit integrierten passiven Dämpfungselementen ausgestattet. Als Folge wird auch das Positionsrauschen minimiert. Aufgrund dieser Eigenschaften und der hohen Zuverlässigkeit des PXY 201 CAP ist der Nanopositionierer besonders geeignet für Anwendungen in der Scanningmikroskopie, Oberflächenanalyse, Metrologie und Alignment und im Bereich der Nanopositionierung, wo Sub-Nanometer-Genauigkeiten und großer innerer Freiraum gefordert werden. Vakuum- und Tieftemperaturanpassungen sind verfügbar, ebenso wie Materialvariationen von Invar, Super-Invar, Aluminium oder Titan.