Herstellung von NEG-Schichten mittels Lichtbogen
NEG-Schichten <i>(non evaporating getter)</i> sind in der Lage bei Raumtemperatur den
Großteil der Gase aus einer Hochvakuumvorrichtung zu entfernen. Sie fangen dabei auch die vom Trägermaterial ausgehenden Gase auf. Nach der Aktivierung ist der NEG-Film eine saubere Metallfläche, was eine hohe Pumpgeschwindigkeit sowie eine geringere Ausgasung ermöglicht. Ihr Einsatzbereich wurde bisher durch Ihr aufwändiges Herstellungsverfahren eingeschränkt.
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TransMIT Gesellschaft für Technologietransfer mbH
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Dr. Peter Stumpf
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