Verfahren und Vorrichtung zur nanometer genauen Positionierung von Bauteilen
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur nanometer genauen Positionierung von zwei oder mehreren Bauteilen zueinander.
Dabei ist eine Genauigkeit von 1nm möglich. Mit diesem Verfahren können mehrere Bauteile auf eine flexible Struktur auf einen Punkt ausgerichtet werden. Des Weiteren lässt sich an eine bestimmte Position eine Markierung auf eine Oberfläche aufbringen. Die Vorrichtung ermöglicht die Messung von Wechselwirkungen von flexiblen Strukturen einer Oberfläche und den entsprechenden Prägestempeln und ermittelt die genaue Position zueinander. Mit diesen Messwerten kann dann eine Bewegung gesteuert werden. Durch die erzielbare Genauigkeit von unter weniger nm ist das Verfahren insbesondere in verschiedenen Herstellungprozessen der Halbleiterfertigung einsetzbar. Weitere Anwendungen existieren in der Nanoelektronik, der Molekularelektronik und Nanofluidikbauelementen.
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GINo Gesellschaft für Innovation Nordhessen mbH
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Dr. Heike Krömker
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