Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Unsichtbare Spiegelungen vermessen

16.07.2003


Das Wettrennen der Chiphersteller läuft: Ab dem Jahr 2010 sollen ihre Produktionsanlagen zunehmend mit extremer UV-Strahlung (EUV) arbeiten. Denn je kürzer die in der Photolithographie verwendete Wellenlänge ist, desto feinere mikroelektronische Strukturen können erzeugt werden. Höhere Integrationsdichten und leistungsfähigere Chips sind die Folge. Wie jede, hat auch diese Sache einen Haken: Strahlung um 13 Nanometer lässt sich wie die benachbarte Röntgenstrahlung mit den bisher verwendeten Optiken weder umlenken noch fokussieren. Einen Ausweg bieten gekrümmte Spiegel, die jedoch nicht einfach wie im heimischen Bad mit Aluminium oder Silber beschichtet sind, sondern mit vielen hundert, sich abwechselnden Schichten verschiedener Materialien. An jeder wird ein kleiner Teil der Strahlung reflektiert. Wissenschaftler vom Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS waren froh, als sie im vergangenen Jahr bei der Reflektivität die Schallmauer von 70 Prozent durchbrachen.



Froh sind sie auch, dass sie für Messungen an ihren EUV-optischen Bauteilen nicht mehr ständig nach Berlin fahren müssen, um die Strahlenquelle des Berliner Elektronensynchrotrons BESSY zu nutzen. Denn inzwischen steht im Dresdner IWS ein Reflektometer - das erste europäische Messgerät dieser Art. Hier wie dort wird EUV-Strahlung nicht einfach mit gewöhnlichen Lampen erzeugt, wie Projektleiter Dr. Ludwig van Loyen erläutert: »Mit grünem Laserlicht schießen wir auf Gold. An der Metalloberfläche entsteht für kurze Zeit ein Plasma. Dieser Punkt, der nur etwa halb so dick ist wie ein menschliches Haar, emittiert EUV-Strahlung.« Weiter geht es in den Monochromator. Von griechisch »eine Farbe« abgeleitet, gewährleistet er, dass die gewünschte Wellenlänge zwischen 10 und 16 Nanometern sehr präzise selektiert wird.



Der auf diese Weise »gereinigte« Messstrahl tritt in die mannshohe Goniometerkammer ein. In diesem vakuumisierten Stahltank liegt beispielsweise ein EUV-Spiegel. Der Strahl trifft auf seine Oberfläche und die Reflexion gibt Auskunft über die optische Güte. »Natürlich benötigen wir Daten von allen Bereichen - und das unter verschiedenen Winkeln«, betont van Loyen. »Da der Strahl schlecht lenkbar ist, muss der maximal einen halben Meter große und 30 Kilo schwere Spiegel präzise und wiederholbar in allen Raumrichtungen bewegt werden - eine feinmechanische Meisterleistung.« Derzeit ist die Laboranlage in der Erprobungsphase. Noch in diesem Jahr soll sie beim Projektpartner Carl Zeiss im schwäbischen Oberkochen aufgebaut werden.

Ansprechpartner:

Dr. Ludwig van Loyen
Telefon 03 51 / 25 83-4 22
Fax 03 51 / 25 83-3 00
Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS
Winterbergstraße 28
01277 Dresden

E-Mail: ludwig.van-loyen@iws.fraunhofer.de

Fraunhofer-Gesellschaft | Fraunhofer-Gesellschaft
Weitere Informationen:
http://www.fraunhofer.de/german/press/pi/index.html
http://www.iws.fraunhofer.de/

Weitere Berichte zu: EUV-Strahlung Nanometer Strahl Strahlung Wellenlänge

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Materialwissenschaften:

nachricht Neue Oberflächeneigenschaften für holzbasierte Werkstoffe
14.08.2018 | INNOVENT e.V. Technologieentwicklung Jena

nachricht Europaweit einzigartiges Forschungszentrum geht an den Start
14.08.2018 | Technische Universität Chemnitz

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Materialwissenschaften >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Farbeffekte durch transparente Nanostrukturen aus dem 3D-Drucker

Neues Design-Tool erstellt automatisch 3D-Druckvorlagen für Nanostrukturen zur Erzeugung benutzerdefinierter Farben | Wissenschaftler präsentieren ihre Ergebnisse diese Woche auf der angesehenen SIGGRAPH-Konferenz

Die meisten Objekte im Alltag sind mit Hilfe von Pigmenten gefärbt, doch dies hat einige Nachteile: Die Farben können verblassen, künstliche Pigmente sind oft...

Im Focus: Color effects from transparent 3D-printed nanostructures

New design tool automatically creates nanostructure 3D-print templates for user-given colors
Scientists present work at prestigious SIGGRAPH conference

Most of the objects we see are colored by pigments, but using pigments has disadvantages: such colors can fade, industrial pigments are often toxic, and...

Im Focus: Eisen und Titan in der Atmosphäre eines Exoplaneten entdeckt

Forschende der Universitäten Bern und Genf haben erstmals in der Atmosphäre eines Exoplaneten Eisen und Titan nachgewiesen. Die Existenz dieser Elemente in Gasform wurde von einem Team um den Berner Astronomen Kevin Heng theoretisch vorausgesagt und konnte nun von Genfern Astronominnen und Astronomen bestätigt werden.

Planeten in anderen Sonnensystemen, sogenannte Exoplaneten, können sehr nah um ihren Stern kreisen. Wenn dieser Stern viel heisser ist als unsere Sonne, dann...

Im Focus: Magnetische Antiteilchen eröffnen neue Horizonte für die Informationstechnologie

Computersimulationen zeigen neues Verhalten von Antiskyrmionen bei zunehmenden elektrischen Strömen

Skyrmionen sind magnetische Nanopartikel, die als vielversprechende Kandidaten für neue Technologien zur Datenspeicherung und Informationsverarbeitung gelten....

Im Focus: Unraveling the nature of 'whistlers' from space in the lab

A new study sheds light on how ultralow frequency radio waves and plasmas interact

Scientists at the University of California, Los Angeles present new research on a curious cosmic phenomenon known as "whistlers" -- very low frequency packets...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

VideoLinks
Industrie & Wirtschaft
Veranstaltungen

LaserForum 2018 thematisiert die 3D-Fertigung von Komponenten

17.08.2018 | Veranstaltungen

Aktuelles aus der Magnetischen Resonanzspektroskopie

16.08.2018 | Veranstaltungen

DFG unterstützt Kongresse und Tagungen - Oktober 2018

16.08.2018 | Veranstaltungen

VideoLinks
Wissenschaft & Forschung
Weitere VideoLinks im Überblick >>>
 
Aktuelle Beiträge

Bionik im Leichtbau

17.08.2018 | Verfahrenstechnologie

Klimafolgenforschung in Hannover: Kleine Pflanzen gegen große Wellen

17.08.2018 | Biowissenschaften Chemie

HAWK-Ingenieurinnen und -Ingenieure entwickeln die leichteste 9to-LKW-Achse ihrer Art

17.08.2018 | Messenachrichten

Weitere B2B-VideoLinks
IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics