Gebündelte Kompetenz bei der Mikrobearbeitung mit Excimerlasern

In einer neuen Nachrichten-Kampagne will das LZH ihre Forschungs- und Entwicklungsergebnisse aus diesem Bereich einer breiteren Öffentlichkeit bekannt machen und sowohl große wie auch kleine und mittlere Unternehmen (KMU) durch Technologietransfer unterstützen.

Der Excimerlaser findet seinen Einsatz vor allem in der Mikromaterialbearbeitung. Durch die kürzeren Wellenlängen im UV-Bereich können viele Materialien bearbeitet werden, für die die längeren Wellenlängen der CO2- und Nd:YAG-Laser nicht geeignet sind. Insbesondere sind Glas, kristalline Materialien (Saphir, Quarz), Keramiken und verschiedene Kunststoffe hervorzuheben.

Im Mikrobereich wird der Excimerlaser besonderes für die Oberflächenstrukturierung und die Funktionalisierung von Oberflächen, für Bohrungen und für das Markieren und Beschriften eingesetzt. Aufgrund des abbildenden Verfahrens besteht bei einer Bearbeitung die Möglichkeit einer flexiblen Strahlformung, so dass komplexe Abtragsgeometrien ohne Verfahrwege gefertigt werden können.

In Forschungs- und Entwicklungsprojekten profitieren Firmen von der guten Laserausstattung des LZH. Excimerlasersysteme mit hohen Intensitäten und den Wellenlängen 157 m, 193 nm, 248 nm stehen zur Verfügung. Eigens konstruierte Anlagentechnik mit 4-Achs-Systemen, in- und offline- Beobachtungssystemen, automatisierten Masken und Energiereglern wird in Kundenprojekten eingesetzt. Verschiedene Abbildungsverhältnisse (von 1:10 bis 1:40) und Auflösungen von einigen wenigen µm sind möglich. Mittels Rotationsmasken können auch Strukturen mit schrägen und runden Wänden gefertigt werden.

Zu den Dienstleistungen, die das LZH im Bereich der Excimerbearbeitung anbietet, gehören unter anderem kundenspezifischer Anlagenbau, Machbarkeitstudien und vergleichende Untersuchungen zu anderen Mikrobearbeitungsprozessen mit dem Laser, zum Beispiel mit dem Femtosekundenlaser (fs-Laser) oder mit frequenzvervielfachten Nd:YAG-Lasern. Auch kleinere Serienfertigungen sind am LZH möglich.

Ansprechpartner für die Excimerlaserbearbeitung im LZH ist Ulrich Klug:
Tel. +49 511 2788-285 oder u.klug@lzh.de.
Kontakt:
Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH)
Michael Botts
Hollerithallee 8
D-30419 Hannover
Tel.: +49 511 2788-151
Fax: +49 511 2788-100
E-Mail: m.botts@lzh.de
Das Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) ist eine durch Mittel des niedersächsischen Ministeriums für Wirtschaft, Arbeit und Verkehr unterstützte Forschungs- und Entwicklungseinrichtung auf dem Gebiet der Lasertechnik.