Schichtdickenbestimmung im Nanometerbereich
Dieses Verfahren dient der schnellen und unkomplizierten quantitativen Bestimmung von Schichtdicken. Die hohe Genauigkeit des Verfahrens und der entsprechenden Vorrichtung wird durch die Kombination von Ellipsometrie und Oberflächenplasmonenresonanz erreicht. Für das Verfahren ist es nicht nötig, den Brechungsindex der zu bestimmenden Schicht zu kennen.
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Dr. Klaus Kobek
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