Lasermodul zum Abscheiden harter, amorpher Schichten
Allerdings werde die Marktverbreitung aufgrund fehlender industrieller Beschichtungstechnik erheblich erschwert.
Die am Fraunhofer IWS entwickelte Abscheidetechnik des lasergesteuerten Vakuumbogens (Laser-Arc) habe dieses Potenzial. Sie wurde in Form eines separaten Moduls umgesetzt, das eine zylindrische Kohlenstoffkathode enthält und an konventionelle Anlagen „angedockt“ werden kann.
Das bietet den Angaben zufolge den Vorteil, dass sich die Beschichtungstechnik der Basisanlage weiter nutzen und mit dem Laser-Arc-Verfahren verknüpfen lässt. Damit ist die Abscheidung superharter ta-C-Schichten möglich, wobei die Produktivität der einer klassischen Hartstoffabscheidung entspricht.
Mit der Integration des Moduls LAM 400 in die Anlage Flexicoat 1000 von Hauzer Techno Coating habe man nun einen Schritt zur umfassenden Markteinführung der Schichten auf der Basis der Laser-Arc-Technik gemacht.
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