Fördergelder: 3,2 Millionen Euro für Halbleiterforschung

Das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) bewilligte 1,6 Millionen Euro, wovon 271.000 Euro von der Firma Siltronic finanziert werden. Hinzu kommt eine Wafer-Reinigungsanlage im Wert von weiteren 1,6 Millionen Euro, die die Firma Aixtron beschaffen wird.

DECISIF schlägt die Brücke von der Grundlagenforschung mit so genanntem verspannten Silizium hin zu anwendungsnaher Technik. Die Forscher wollen das neue Material auf industriekompatible 300-Millimeter-Wafer aufbringen und darauf neuartige Transistoren testen.

Dank der besonderen elektronischen Eigenschaften, die durch das gestreckte Kristallgitter im verspannten Silizium entstehen, erzielt man eine höhere Schaltfrequenz bei geringerem Energieverbrauch. Damit öffnet sich der Weg zu leistungsfähigeren und dabei immer kleineren Transistoren.

Zum Einsatz kämen diese optimierten Bauelemente dann beispielsweise in energiesparenden mobilen Geräten wie Notebooks oder Mobiltelefonen. Im Vorgängerprojekt TeSIN gelang es Jülicher Forschern und ihren Industriepartnern bereits im Frühjahr, qualitativ hochwertiges verspanntes Silizium auf 200-Millimeter-Wafern herzustellen. Auf dieses Verfahren besitzen die Jülicher Forscher bereits seit einem Jahr ein Patent.

Jülicher Institut für Bio- und Nanosysteme:
http://www.fz-juelich.de/ibn/ISG_HomeSite
Mehr zu TeSIN:
http://www.fz-juelich.de/ibn/TeSIN
Mehr zu verspanntem Silizium:
http://www.fz-juelich.de/ibn/IBN1_IT_SSOI
Flyer: Verspanntes Silizium à la Jülich (PDF):
http://lnk.nu/fz-juelich.de/nx9.pdf