Kooperation für neue Sensorsysteme

Inertialsensoren erfassen die Bewegungen im Raum, wie Beschleunigung und Rotation. Diese Bauteile kommen zum Teil schon in Konsumerprodukte wir Smartphones zum Einsatz. (© Fraunhofer)<br>

Diese Inertialsensoren genannten Bauteile erfassen die Bewegungen im Raum, wie Beschleunigung und Rotation. Forscher entwickeln neue Mikro-Elektro-Mechanische Bauelemente, MEMS-Bauelemente genannt, aus Siliziumtechnologie.

Um Sensor-Produkte aus MEMS-Bauteilen zu entwickeln, arbeiten Forscher des Fraunhofer-Instituts für Siliziumtechnologie ISIT in Itzehoe seit einigen Jahren eng mit der Firma SensorDynamics in Graz/Österreich zusammen. Dieses Unternehmen ist nun von der amerikanischen Firma Maxim Integrated Products mit Sitz in Sunnyvale, Kalifornien/USA, für einen Gesamtpreis von etwa 164 Mio. US-Dollar übernommen worden.

In diesen Preis ist auch die Bewertung des von SensorDynamics und ISIT aufgebauten Know-Hows auf dem Gebiet der Sensorherstellung positiv eingeflossen. Mit Maxim werden die Experten des ISIT die erfolgreichen F&E-Arbeiten für neue MEMS-Bauteile zur Inertialsensorik fortsetzen.

Maxim ist ein großer und weltweit etablierter Hersteller von Analog- und Mixed-Signal-Halbleiterkomponenten mit gegenwärtig etwa 2,5 Mrd. US-Dollar Jahresumsatz. Das ISIT erwartet daher für die Zukunft eine Ausweitung des Umfangs von Entwicklungsarbeiten sowie eine beschleunigte Markteinführung von neuen Sensortypen, die auf den MEMS-Entwicklungen des ISIT beruhen.

Vergleichbare Bauteile werden bisher zum Beispiel als Beschleunigungssensoren von der Automobilindustrie in Airbags oder zur Fahrzeugstabilisierung (Electronic Stabilization Control; ESC) eingesetzt. Herr Vijay Ullal, Group President Consumer Solutions von Maxim Integrated Products, erklärte die Absicht, die Entwicklungsumgebung in Itzehoe weiter zu nutzen. »Wir gehen von einer weiterhin starken Forschungs- und Entwicklungszusammenarbeit mit dem Fraunhofer ISIT aus.«

Zahlreiche Marktstudien sagen ein starkes Wachstum von MEMS-basierenden elektronischen Systemen vor allem in Konsumeranwendungen voraus. Mehrere Unternehmen haben bereits damit begonnen, die Funktionen ihrer Spielekonsolen, Smartphones und Computer mit Bewegung zu steuern. Um diese Bewegungen und auch die Richtung zu erfassen, wird die neue 3D-Inertialsensorik benötigt. Maxim bereitet die Erschließung dieser neuen Märkte vor. Die Kooperation mit SensorDynamics in Itzehoe ist Teil dieser Entwicklungsarbeiten für neue Sensorsysteme.

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Prof. Dr. Ralf Dudde Fraunhofer Wirtschaftsthemen

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