OPC-Technik
Langer Überlebenskampf der Lichtoptik
Die insgesamt 72 wissenschaftlichen „Papers“, die entweder in Form eines Vortrags oder als Poster vorgestellt wurden, verteilten sich zu jeweils 50 Prozent auf…
Jeder fünfte Mikroprozessor kommt aus Dresden
Die Halbleiterindustrie benötigt dringend innovative Photomasken, die den immer kompakteren Strukturen gerecht werden. Von ihrer Verfügbarkeit hängt es ab, ob das Moore´sche Gesetz weiterhin Gültigkeit besitzt. Mittlerweile haben die Schaltungsgeometrien der immer kleineren, schnelleren und leistungsfähigeren ICs nämlich Dimensionen erreicht, welche die lithographischen Masken im Zuge der weiteren Miniaturisierung zu einem kritischen Element werden lassen, da nach den Gesetzen der Schulphysik di