extrem-ultraviolettes Licht

Geschärfter Blick ins Innere von Halbleitern

Ein Forschungsteam der Friedrich-Schiller-Universität Jena entwickelt ein hochauflösendes Bildgebungsverfahren weiter, mit dem sich zerstörungsfrei und nanometergenau innere Strukturen in Materialien sowie ihre chemische Zusammensetzung bestimmen lassen Bilder liefern Erkenntnisse. Was…