Workshop am LZH: Simulation in der Dünnschichttechnik

Mit molekulardynamischen Verfahren simulierte Struktur einer TiO2-Schicht (150.000 Atome), die mit einem thermischen Verfahren auf ein Substrat mit einem Partikeldefekt deponiert wurde. Grafik: LZH

Modellbasierte Optimierungsverfahren ermöglichen kosteneffiziente und bedarfsgerechte Abstimmung der Funktionsschichten auf das Produkt. Der Workshop fasst hierzu den Stand der Forschung zusammen und soll Impulse für den Transfer in die Praxis setzen.

Moderne Beschichtungsverfahren zählen zu den wichtigsten Schlüsseltechnologien in Industrie und Forschung. So ist beispielsweise in der Photonik kaum ein Produkt zu finden, das keine optischen Funktionsschichten enthält.

Der Trend geht zu anspruchsvollen optischen Systemen mit vielen, auf kleinstem Raum angeordneten Elementen sowie Lasersystemen mit immer größeren Ausgangsleistungen. Die Anforderungen an die Herstellung solcher Funktionsschichten steigen dabei stetig.

In der optischen Dünnschichttechnologie beruhten entsprechende Lösungsstrategien über Jahrzehnte hinweg auf kleinen technischen Iterationsschritten, die immer wieder die notwendigen Qualitätsverbesserungen erbrachten.

Auch vor dem Hintergrund des Trends zu einem hohen Diversifizierungsgrad der Produkte und der damit einhergehenden enormen Flexibilisierung der Beschichtungsverfahren stößt man mittlerweile jedoch an die Grenzen dieser einfachen, aber dennoch sehr aufwendigen empirischen Anpassungstechniken.

Notwendig ist hier nunmehr ein strategisches Umdenken hin zu modellbasierten Optimierungsverfahren, die auf der Grundlage von Simulationen der einzelnen Fertigungsphasen eine kosteneffiziente und bedarfsgerechte Abstimmung der Funktionsschichten auf das Produkt ermöglichen.

http://www.photonicnet.de/veranstaltungen/2015/02/simulationen-in-der-duennschic… – Vollständiges Programm und Informationen zur Anmeldung

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Lena Bennefeld Laser Zentrum Hannover e.V.

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