Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Nikon setzt zukünftig auf Messtechnik „Made in Jena“

23.10.2017

Bei Nikon, einem der weltweit führenden Optik- und Technologiekonzerne, kommt demnächst eine neue Messtechnik für die Qualitätskontrolle von optischen Materialien und Schichten zum Einsatz. Das auf laserinduzierter Teststrahlablenkung basierende Absorptionsmessverfahren wurde am Leibniz-Institut für Photonische Technologien Jena (Leibniz-IPHT) erforscht und entwickelt. In enger Zusammenarbeit mit der Jenaer Firma Speck Sensorsysteme GmbH entsteht nun ein Messplatz bei Nikon in Japan.

Der immer leistungsfähigeren Halbleiter- und Mikrosystemtechnologie liegen Strukturen im Nanometermaßstab zu Grunde. Das stellt hohe Ansprüche an die Verfahren für deren Herstellung.


Sandwich-LID-Messaufbau zur Kalibrierung photothermischer Absorptionsmessungen.

Quelle: IPHT Jena/S. Döring

Die bei Nikon eingesetzte laserbasierte Lithographietechnik nutzt spezielle optische Linsen und Belichtungsmasken, um kleinste Strukturen in ein lichtempfindliches Substrat zu schreiben. Für eine gleichbleibend hohe Qualität des Lithographieverfahrens muss genau bekannt sein, wieviel des eingestrahlten Laserlichts in den Linsen sowie deren Beschichtung absorbiert und in Wärme umgewandelt wird.

Dazu greift Nikon bereits auf eine photothermische Methode des Leibniz-IPHT zurück - die laserinduzierte Teststrahlablenkung (engl. laser induced deflection – LID). Sie gehört zu den weltweit führenden absoluten Techniken, die selbst sehr geringe Absorptionen von weniger als ein Millionstel der eingestrahlten Laserleistung erfassen.

Nun ermöglicht ein patentiertes Sandwich-LID-Messkonzept des Instituts eine einfachere Kalibration der Absorptionsmessung sowie einen teilweise enormen Sensitivitätsgewinn. Der IPHT-Wissenschaftler Dr. Christian Mühlig beschreibt die Vorteile der Methode.

„Damit können wir die bisher zum Teil sehr teuren und aus empfindlichen Materialien hergestellten Kalibrierproben durch preiswertes und leicht zu bearbeitendes Aluminium ersetzen. Anders als bei alternativen photothermischen Verfahren, müssen wir für die absolute Kalibrierung die genaue Zusammensetzung des Untersuchungsmaterials und dessen photothermische Eigenschaften nicht mehr im Vorfeld kennen. Für die Produktion im industriellen Maßstab wie bei Nikon bedeutet das Geld- und Zeitersparnis.“

Die Einrichtung des Messplatzes bei Nikon erfolgt in Kooperation mit der Firma Speck Sensorsysteme GmbH in Jena. Das Leibniz-IPHT übernimmt die Konzeption, den Aufbau und den Test des LID-Messgeräts sowie die Überführung der Technologie in die Produktionskontrolle.

Die Speck Sensorsysteme GmbH liefert die Hard- und Software für die Ansteuerung und die auf erprobten IPHT-Routinen basierende Datenerfassungs- und Auswertesoftware. Die Qualifikation der LID-Messtechnik für die Anforderungen bei Nikon erfolgte über eine bereits mehrere Jahre andauernde Kooperation. In den kommenden Jahren soll die Nutzung der LID-Technologie bei Nikon ausgeweitet werden.

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien:
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien (Leibniz-IPHT) erforscht die wissenschaftlichen Grundlagen für photonische Verfahren und Systeme höchster Sensitivität, Effizienz und Auflösung. Gemäß dem Motto „Photonics for Life – from ideas to instruments“ entwickeln Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler am Leibniz-IPHT maßgeschneiderte Lösungen für Fragestellungen aus den Bereichen Lebens- und Umweltwissenschaften sowie Medizin.

Kontakt:
Dr. Anja Schulz
Öffentlichkeitsarbeit und Forschungsmarketing
Leibniz-Institut für Photonische Technologien Jena
anja.schulz(a)leibniz-ipht.de
Tel.: 03641 206064

Weitere Informationen:

https://www.leibniz-ipht.de/institut/presse/aktuelles/detail/nikon-setzt-zukuenf...

Dr. Anja Schulz | idw - Informationsdienst Wissenschaft

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Verfahrenstechnologie:

nachricht Uhrenbestandteile aus Diamant
18.06.2018 | Schweizerischer Nationalfonds SNF

nachricht Sauberes Biogas: TU Wien präsentiert Entschwefelungstechnik
11.06.2018 | Technische Universität Wien

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Verfahrenstechnologie >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: AchemAsia 2019 in Shanghai

Die AchemAsia geht in ihr viertes Jahrzehnt und bricht auf zu neuen Ufern: Das International Expo and Innovation Forum for Sustainable Chemical Production findet vom 21. bis 23. Mai 2019 in Shanghai, China statt. Gleichzeitig erhält die Veranstaltung ein aktuelles Profil: Die elfte Ausgabe fokussiert auf Themen, die für Chinas Prozessindustrie besonders relevant sind, und legt den Schwerpunkt auf Nachhaltigkeit und Innovation.

1989 wurde die AchemAsia als Spin-Off der ACHEMA ins Leben gerufen, um die Bedürfnisse der sich damals noch entwickelnden Iindustrie in China zu erfüllen. Seit...

Im Focus: AchemAsia 2019 will take place in Shanghai

Moving into its fourth decade, AchemAsia is setting out for new horizons: The International Expo and Innovation Forum for Sustainable Chemical Production will take place from 21-23 May 2019 in Shanghai, China. With an updated event profile, the eleventh edition focusses on topics that are especially relevant for the Chinese process industry, putting a strong emphasis on sustainability and innovation.

Founded in 1989 as a spin-off of ACHEMA to cater to the needs of China’s then developing industry, AchemAsia has since grown into a platform where the latest...

Im Focus: Li-Fi erstmals für das industrielle Internet der Dinge getestet

Mit einer Abschlusspräsentation im BMW Werk München wurde das BMBF-geförderte Projekt OWICELLS erfolgreich abgeschlossen. Dabei wurde eine Li-Fi Kommunikation zu einem mobilen Roboter in einer 5x5m² Fertigungszelle demonstriert, der produktionsübliche Vorgänge durchführt (Teile schweißen, umlegen und prüfen). Die robuste, optische Drahtlosübertragung beruht auf räumlicher Diversität, d.h. Daten werden von mehreren LEDs und mehreren Photodioden gleichzeitig gesendet und empfangen. Das System kann Daten mit mehr als 100 Mbit/s und fünf Millisekunden Latenz übertragen.

Moderne Produktionstechniken in der Automobilindustrie müssen flexibler werden, um sich an individuelle Kundenwünsche anpassen zu können. Forscher untersuchen...

Im Focus: First real-time test of Li-Fi utilization for the industrial Internet of Things

The BMBF-funded OWICELLS project was successfully completed with a final presentation at the BMW plant in Munich. The presentation demonstrated a Li-Fi communication with a mobile robot, while the robot carried out usual production processes (welding, moving and testing parts) in a 5x5m² production cell. The robust, optical wireless transmission is based on spatial diversity; in other words, data is sent and received simultaneously by several LEDs and several photodiodes. The system can transmit data at more than 100 Mbit/s and five milliseconds latency.

Modern production technologies in the automobile industry must become more flexible in order to fulfil individual customer requirements.

Im Focus: ALMA entdeckt Trio von Baby-Planeten rund um neugeborenen Stern

Neuartige Technik, um die jüngsten Planeten in unserer Galaxis zu finden

Zwei unabhängige Astronomenteams haben mit ALMA überzeugende Belege dafür gefunden, dass sich drei junge Planeten im Orbit um den Säuglingsstern HD 163296...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

VideoLinks
Industrie & Wirtschaft
Veranstaltungen

Simulierter Eingriff am virtuellen Herzen

18.06.2018 | Veranstaltungen

Künstliche Intelligenz – Schafft der Mensch seine Arbeit ab?

15.06.2018 | Veranstaltungen

Internationale Konferenz zur Asteroidenforschung in Garching

13.06.2018 | Veranstaltungen

VideoLinks
Wissenschaft & Forschung
Weitere VideoLinks im Überblick >>>
 
Aktuelle Beiträge

Überdosis Calcium

19.06.2018 | Medizin Gesundheit

Lasertests unter Tiefsee-Bedingungen am LZH

19.06.2018 | Materialwissenschaften

Neuer Abwehrmechanismus gegen Sauerstoffradikale entdeckt

18.06.2018 | Biowissenschaften Chemie

Weitere B2B-VideoLinks
IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics