Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Durchbruch in der Mikrosystemtechnik

16.10.2003


Rasterelektronenmikroskopische Aufnahme eines mikrostrukturierten Zahnrads: Die saubere Oberfläche der metallenen Struktur ist vollständig von SU-8 Fotolack gereinigt.


Experten von IMM und M-O-T entwickeln gemeinsam ein neues Verfahren zur Entfernung von SU-8(TM) Fotolacken aus Mikrostrukturen

... mehr zu:
»Fotolack »IMM »M-O-T »Mikrosystemtechnik »SU-8

Für die Herstellung von Bauelementen der Mikrosystemtechnik finden häufig lithografische Verfahren Anwendung. Mit dem SU-8(TM) Fotolack steht sowohl im Röntgen- als auch im UV-Bereich ein formgebender Fotolack zur Verfügung, der z.B. die Herstellung von metallischen dreidimensionalen Mikrostrukturen mit großen Breiten-/ Höhenverhältnissen (Aspektverhältnis) im LIGA-Verfahren (Lithografie Galvanik Abformung) erlaubt.

Eine Expertengruppe aus der Institut für Mikrotechnik Mainz GmbH (IMM) und der M-O-T Mikro- und Oberflächentechnik GmbH (Speyer) entwickelte unter der Leitung von Dr. Holger Löwe ein neuartiges Verfahren zur vollständigen Entfernung von SU-8(TM) Fotolack aus mikrostrukturierten Bauteilen.


Bisher ließen sich die hervorragenden Eigenschaften und Strukturierungsmöglichkeiten des SU-8(TM) nur eingeschränkt nutzen. Der Hauptgrund bestand darin, dass sich prozessierter SU-8(TM) Fotolack, d.h. die Form, nur mit Schwierigkeiten und häufig zum Nachteil des mikrostrukturierten Bauteils wieder aus der galvanisch erzeugten Struktur entfernen ließ.

Der weltweit intensiv gesuchte Schlüssel zur Lösung des Problems liegt in einem bereits 1998 vom IMM patentierten Verfahren (DE 198 13 235) zur Entfernung von PMMA Röntgenfotolack. Dies konnte durch geeignete Modifizierung an die Belange der SU-8(TM) Fotolackentfernung angepasst werden.

Das neue Verfahren arbeitet ebenso nasschemisch wie im Patent beschrieben. Galvanische Schichten aus Kupfer, Nickel und Nickellegierungen, insbesondere Nickel-Eisen-Legierungen, lassen sich ohne merklichen Angriff des Ätzmediums vom SU-8 Fotolack befreien.

Das Expertenteam von IMM und M-O-T prüft derzeit die Einsatzmöglichkeit des Verfahrens in Verbindung mit anderen Metallen, wie Gold und Silber. Die Entwicklung der entsprechenden Anlagentechnik ist abgeschlossen. Systeme, die auch in eine vorhandene Reinraumumgebung integrierbar sind, können bereits über M-O-T bezogen werden.

Dr. Stefan Kurze | imm
Weitere Informationen:
http://imm.mediadialog24.de/v0/vvseitend/vvpresse/presse_detail.php?id=168
http://www.m-o-t.info/

Weitere Berichte zu: Fotolack IMM M-O-T Mikrosystemtechnik SU-8

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Verfahrenstechnologie:

nachricht 3D-Druck jetzt auch mit Glas möglich
20.04.2017 | Karlsruher Institut für Technologie

nachricht Kluge Laserbearbeitungsköpfe im Digitalzeitalter
13.04.2017 | Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Verfahrenstechnologie >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Immunzellen helfen bei elektrischer Reizleitung im Herzen

Erstmals elektrische Kopplung von Muskelzellen und Makrophagen im Herzen nachgewiesen / Erkenntnisse könnten neue Therapieansätze bei Herzinfarkt und Herzrhythmus-Störungen ermöglichen / Publikation am 20. April 2017 in Cell

Makrophagen, auch Fresszellen genannt, sind Teil des Immunsystems und spielen eine wesentliche Rolle in der Abwehr von Krankheitserregern und bei der...

Im Focus: Tief im Inneren von M87

Die Galaxie M87 enthält ein supermassereiches Schwarzes Loch von sechs Milliarden Sonnenmassen im Zentrum. Ihr leuchtkräftiger Jet dominiert das beobachtete Spektrum über einen Frequenzbereich von 10 Größenordnungen. Aufgrund ihrer Nähe, des ausgeprägten Jets und des sehr massereichen Schwarzen Lochs stellt M87 ein ideales Laboratorium dar, um die Entstehung, Beschleunigung und Bündelung der Materie in relativistischen Jets zu erforschen. Ein Forscherteam unter der Leitung von Silke Britzen vom MPIfR Bonn liefert Hinweise für die Verbindung von Akkretionsscheibe und Jet von M87 durch turbulente Prozesse und damit neue Erkenntnisse für das Problem des Ursprungs von astrophysikalischen Jets.

Supermassereiche Schwarze Löcher in den Zentren von Galaxien sind eines der rätselhaftesten Phänomene in der modernen Astrophysik. Ihr gewaltiger...

Im Focus: Deep inside Galaxy M87

The nearby, giant radio galaxy M87 hosts a supermassive black hole (BH) and is well-known for its bright jet dominating the spectrum over ten orders of magnitude in frequency. Due to its proximity, jet prominence, and the large black hole mass, M87 is the best laboratory for investigating the formation, acceleration, and collimation of relativistic jets. A research team led by Silke Britzen from the Max Planck Institute for Radio Astronomy in Bonn, Germany, has found strong indication for turbulent processes connecting the accretion disk and the jet of that galaxy providing insights into the longstanding problem of the origin of astrophysical jets.

Supermassive black holes form some of the most enigmatic phenomena in astrophysics. Their enormous energy output is supposed to be generated by the...

Im Focus: Neu entdeckter Exoplanet könnte bester Kandidat für die Suche nach Leben sein

Supererde in bewohnbarer Zone um aktivitätsschwachen roten Zwergstern gefunden

Ein Exoplanet, der 40 Lichtjahre von der Erde entfernt einen roten Zwergstern umkreist, könnte in naher Zukunft der beste Ort sein, um außerhalb des...

Im Focus: Resistiver Schaltmechanismus aufgeklärt

Sie erlauben energiesparendes Schalten innerhalb von Nanosekunden, und die gespeicherten Informationen bleiben auf Dauer erhalten: ReRAM-Speicher gelten als Hoffnungsträger für die Datenspeicher der Zukunft.

Wie ReRAM-Zellen genau funktionieren, ist jedoch bisher nicht vollständig verstanden. Insbesondere die Details der ablaufenden chemischen Reaktionen geben den...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

Smart-Data-Forschung auf dem Weg in die wirtschaftliche Praxis

21.04.2017 | Veranstaltungen

Baukultur: Mehr Qualität durch Gestaltungsbeiräte

21.04.2017 | Veranstaltungen

Licht - ein Werkzeug für die Laborbranche

20.04.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

Intelligenter Werkstattwagen unterstützt Mensch in der Produktion

21.04.2017 | HANNOVER MESSE

Forschungszentrum Jülich auf der Hannover Messe 2017

21.04.2017 | HANNOVER MESSE

Smart-Data-Forschung auf dem Weg in die wirtschaftliche Praxis

21.04.2017 | Veranstaltungsnachrichten