Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Kleinste Strukturen – Fraunhofer-Lithographie-Workshop bündelt internationale Expertise

22.09.2011
Zum neunten Mal folgten Lithographie-Experten aus aller Welt der Einladung des Fraunhofer IISB zum „Fraunhofer IISB Lithography Simulation Workshop“.

Das Fachtreffen mit dem Schwerpunkt Modellierung adressiert ein internationales Publikum aus Industrie und Forschung und legt Wert auf einen deutlichen Praxisbezug der behandelten Fragestellungen.

Die Photolithographie wird vor allem in der Halbleiterindustrie bei der Produktion von Mikrochips eingesetzt. Sie ist dort das industrielle Standard-Verfahren zur Herstellung kleiner und kleinster Strukturen im Mikro- und Nanometerbereich und daher auch wirtschaftlich von großer Bedeutung. Durch die stetige Miniaturisierung in der Mikroelektronik und die damit verbundene Verkleinerung der Strukturgrößen, z.B. für Transistoren, ergeben sich für die Lithographie ständig neue technologische Herausforderungen. Wissenschaftler, Optik- und Gerätehersteller und Chipfabrikanten arbeiten dabei schon heute hart an den Grenzen des physikalisch Möglichen. Die erzeugten Strukturen sind teilweise kleiner als die Wellenlänge des verwendeten Lichts.

Computersimulationen sind deshalb ein unerlässliches Werkzeug, um Fragestellungen zu beantworten, deren Klärung im Experiment zu teuer, zu zeitaufwendig oder schlicht technisch unmöglich wäre.

Im Mittelpunkt des Lithographie-Workshops am 15.-17. September 2011 standen die neuesten Forschungsaktivitäten und zukünftigen Entwicklungen im Bereich der Lithographie und der Lithographiesimulation sowie die Grenzen aktueller Simulationsmodelle und deren notwendige Weiterentwicklung. Die Experten nutzten die Gelegenheit zum Erfahrungs- und Ideenaustausch auf den Gebieten der physikalischen Modellierung, der numerischen Techniken sowie der Geräte und Prozesse in der Halbleiterfertigung. Neben Fragen zur EUV (Extreme Ultra Violet)-Lithographie boten auch bislang nicht im Detail geklärte Vorgänge bei der Belichtung von Photolack reichlich Stoff für die wissenschaftliche Diskussion. Weitere Themenschwerpunkte waren Lithographie für die Mikro- und Nanooptik sowie alternative Anwendungen der Lithographiesimulation.

Der „9th Fraunhofer IISB Lithography Simulation Workshop” wurde – wie jedes Jahr – von der Arbeitsgruppe Lithographiesimulation des in Erlangen ansässigen Fraunhofer IISB ausgerichtet. Das bis auf den letzten Platz ausgebuchte Expertentreffen erfreut sich bei den Teilnehmern aus Amerika, Asien und Europa ausgesprochener Beliebtheit. Die Besonderheit des Workshops liegt dabei in der Gesamtheit von fachlicher Ausrichtung und außergewöhnlichem Umfeld. So befindet sich der Veranstaltungsort traditionell in der reizvollen Landschaft bei Hersbruck in der fränkischen Alb, und auch die sozialen Aspekte sind neben den Fachvorträgen fester Bestandteil des Programms. Mit besonderer Arbeitsatmosphäre bietet der Fraunhofer-IISB-Lithographie-Workshop reichlich Möglichkeiten für intensive, kreative Diskussionen und persönlichen Austausch.

Ansprechpartner:
Dr. Andreas Erdmann
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Schottkystrasse 10, 91058 Erlangen, Germany
Tel. +49-9131-761-258
Fax +49-9131-761-212
lithography@iisb.fraunhofer.de
Fraunhofer IISB:
Das 1985 gegründete Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB betreibt angewandte Forschung und Entwicklung auf den Gebieten der Mikro- und Nanoelektronik, Leistungselektronik und Mechatronik. Mit Technologie-, Geräte- und Materialentwicklungen für die Nanoelektronik sowie seinen Arbeiten zu leistungselektronischen Systemen für Energieeffizienz, Hybrid- und Elektroautomobile genießt das Institut internationale Aufmerksamkeit und Anerkennung. Rund 170 Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter arbeiten in der Vertragsforschung für die Industrie und öffentliche Einrichtungen. Neben seinem Hauptsitz in Erlangen hat das IISB zwei weitere Standorte in Nürnberg und Freiberg. Das IISB kooperiert eng mit dem Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente der Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg.

Dr. Andreas Erdmann | Fraunhofer-Gesellschaft
Weitere Informationen:
http://www.iisb.fraunhofer.de/

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Seminare Workshops:

nachricht GoToMeeting-Integration - Webinare bequem in Lernszenarien einbinden
14.08.2017 | time4you GmbH

nachricht Lean Development - Effizienzsteigerung in der Entwicklung und Konstruktion
11.08.2017 | Haus der Technik e.V.

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Seminare Workshops >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Mit Barcodes der Zellentwicklung auf der Spur

Darüber, wie sich Blutzellen entwickeln, existieren verschiedene Auffassungen – sie basieren jedoch fast ausschließlich auf Experimenten, die lediglich Momentaufnahmen widerspiegeln. Wissenschaftler des Deutschen Krebsforschungszentrums stellen nun im Fachjournal Nature eine neue Technik vor, mit der sich das Geschehen dynamisch erfassen lässt: Mithilfe eines „Zufallsgenerators“ versehen sie Blutstammzellen mit genetischen Barcodes und können so verfolgen, welche Zelltypen aus der Stammzelle hervorgehen. Diese Technik erlaubt künftig völlig neue Einblicke in die Entwicklung unterschiedlicher Gewebe sowie in die Krebsentstehung.

Wie entsteht die Vielzahl verschiedener Zelltypen im Blut? Diese Frage beschäftigt Wissenschaftler schon lange. Nach der klassischen Vorstellung fächern sich...

Im Focus: Fizzy soda water could be key to clean manufacture of flat wonder material: Graphene

Whether you call it effervescent, fizzy, or sparkling, carbonated water is making a comeback as a beverage. Aside from quenching thirst, researchers at the University of Illinois at Urbana-Champaign have discovered a new use for these "bubbly" concoctions that will have major impact on the manufacturer of the world's thinnest, flattest, and one most useful materials -- graphene.

As graphene's popularity grows as an advanced "wonder" material, the speed and quality at which it can be manufactured will be paramount. With that in mind,...

Im Focus: Forscher entwickeln maisförmigen Arzneimittel-Transporter zum Inhalieren

Er sieht aus wie ein Maiskolben, ist winzig wie ein Bakterium und kann einen Wirkstoff direkt in die Lungenzellen liefern: Das zylinderförmige Vehikel für Arzneistoffe, das Pharmazeuten der Universität des Saarlandes entwickelt haben, kann inhaliert werden. Professor Marc Schneider und sein Team machen sich dabei die körpereigene Abwehr zunutze: Makrophagen, die Fresszellen des Immunsystems, fressen den gesundheitlich unbedenklichen „Nano-Mais“ und setzen dabei den in ihm enthaltenen Wirkstoff frei. Bei ihrer Forschung arbeiteten die Pharmazeuten mit Forschern der Medizinischen Fakultät der Saar-Uni, des Leibniz-Instituts für Neue Materialien und der Universität Marburg zusammen Ihre Forschungsergebnisse veröffentlichten die Wissenschaftler in der Fachzeitschrift Advanced Healthcare Materials. DOI: 10.1002/adhm.201700478

Ein Medikament wirkt nur, wenn es dort ankommt, wo es wirken soll. Wird ein Mittel inhaliert, muss der Wirkstoff in der Lunge zuerst die Hindernisse...

Im Focus: Exotische Quantenzustände: Physiker erzeugen erstmals optische „Töpfe" für ein Super-Photon

Physikern der Universität Bonn ist es gelungen, optische Mulden und komplexere Muster zu erzeugen, in die das Licht eines Bose-Einstein-Kondensates fließt. Die Herstellung solch sehr verlustarmer Strukturen für Licht ist eine Voraussetzung für komplexe Schaltkreise für Licht, beispielsweise für die Quanteninformationsverarbeitung einer neuen Computergeneration. Die Wissenschaftler stellen nun ihre Ergebnisse im Fachjournal „Nature Photonics“ vor.

Lichtteilchen (Photonen) kommen als winzige, unteilbare Portionen vor. Viele Tausend dieser Licht-Portionen lassen sich zu einem einzigen Super-Photon...

Im Focus: Exotic quantum states made from light: Physicists create optical “wells” for a super-photon

Physicists at the University of Bonn have managed to create optical hollows and more complex patterns into which the light of a Bose-Einstein condensate flows. The creation of such highly low-loss structures for light is a prerequisite for complex light circuits, such as for quantum information processing for a new generation of computers. The researchers are now presenting their results in the journal Nature Photonics.

Light particles (photons) occur as tiny, indivisible portions. Many thousands of these light portions can be merged to form a single super-photon if they are...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

Einblicke ins menschliche Denken

17.08.2017 | Veranstaltungen

Eröffnung der INC.worX-Erlebniswelt während der Technologie- und Innovationsmanagement-Tagung 2017

16.08.2017 | Veranstaltungen

Sensibilisierungskampagne zu Pilzinfektionen

15.08.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

Scharfe Röntgenblitze aus dem Atomkern

17.08.2017 | Physik Astronomie

Fake News finden und bekämpfen

17.08.2017 | Interdisziplinäre Forschung

Effizienz steigern, Kosten senken!

17.08.2017 | Messenachrichten