Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Einzige Röntgentiefen-Lithographie-Strahllinie in NRW eröffnet

10.12.2010
Die Herstellung kleinster mikromechanischer Strukturen gelingt mit der neuen „Röntgentiefen-Lithographie-Strahllinie“ der Dortmunder Elektronenspeicherring-Anlage DELTA der Technischen Universität Dortmund.

Wissenschaftlich konzipiert und gebaut hat sie Dr. Daniela Lietz, Mitarbeiterin am Lehrstuhl Experimentelle Physik I der Fakultät Physik der TU Dortmund, im Rahmen ihrer Dissertation. Die neue Strahllinie ist besonders für die Industrie interessant: Sie ist die einzige Möglichkeit in NRW, kleinste Zahnräder und andere mechanische Bauteile mit einer Höhe von bis zu mehreren Millimetern in höchster Präzision durch dieses Verfahren herzustellen.

Mikromechanische Systeme finden in immer mehr Bereichen Anwendung. In der Medizin ermöglichen sie kleinere Geräte in Diagnostik und Therapie, in der Fahrzeugtechnik sorgen kleinste Sensoren im Airbag für optimalen Insassenschutz und es lassen sich mit ihnen Mini-Festplatten auf kleinstem Raum realisieren. Doch die Herstellung der Bauteile stellt höchste Ansprüche an das Fertigungsverfahren, denn im Mikrometerbereich lässt sich mit mechanischen Werkzeugen nichts mehr ausrichten.

Wenn es darum geht, hochpräzise senkrechte Strukturen bei Materialien mit Schichtdicken von bis zu mehreren Millimetern zu realisieren, dann ist dies nur mit der Röntgentiefen-Lithographie möglich. Andere lithographische Verfahren, wie wir sie beispielsweise aus der Herstellung von Mikrochips kennen, können nur wenige Mikrometer tief im Material Strukturen realisieren. Wegen der hohen Eindringtiefe, ihrer extremen Bündelung und nahezu parallelen Ausrichtung können Synchrotronstrahlen dagegen quasi exakt senkrecht sehr tief ins Material eindringen.

Der eigentliche Produktionsablauf bei der Röntgentiefen-Lithographie verläuft ähnlich wie bei anderen lithografischen Verfahren: Eine Maske wird wie ein Fotonegativ auf eine mit röntgenempfindlichem Material beschichtete Siliziumscheibe – den Wafer - gelegt und mit Synchrotronstrahlen „belichtet“. Hierbei zeigt die Röntgentiefen-Lithographie einen weiteren Vorteil gegenüber anderen Verfahren: Sie benötigt nur kurze Belichtungszeiten, entsprechend viele Wafer lassen sich in kürzester Zeit belichten.

Anschließend werden bei der „Entwicklung“ die unbelichteten Teile herausgelöst. Durch Galvanisierung entsteht jetzt im weiteren Produktionsprozess eine Metallform, die durch Kunststoffabformung vervielfältigt werden kann.

In Nordrhein-Westfalen bietet jetzt die neue Strahllinie bei DELTA, der Synchrotronstrahlenquelle der Technischen Universität Dortmund, landesweit die einzige Möglichkeit, kleinste mikromechanische Strukturen mittels der Röntgentiefen-Lithographie herzustellen. Diese Möglichkeit steht vor allem Unternehmen aus der Region zur Verfügung. Denn während die anderen DELTA-Beamlines weitestgehend Forschungszwecken dienen, wurde die Röntgentiefen-Lithographie-Strahllinie explizit gebaut, um Industriepartnern die kommerzielle Nutzung dieses Verfahrens zu ermöglichen.

Kontakt:
Zentrum für Synchrotronstrahlung der Technischen Universität Dortmund
Prof. Dr. Metin Tolan
Maria-Goeppert-Mayer-Straße 2
44227 Dortmund
Telefon: +49 231 755-3506
E-Mail: tolan@physik.uni-dortmund.de

Ole Lünnemann | idw
Weitere Informationen:
http://www.delta.uni-dortmund.de

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Materialwissenschaften:

nachricht Forscherin entwickelt elektronische Textilstruktur für Medizinprodukte
17.02.2017 | Hochschule Niederrhein - University of Applied Sciences

nachricht Untergrund beeinflusst Halbleiter-Monolagen
16.02.2017 | Philipps-Universität Marburg

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Materialwissenschaften >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Wie Proteine Zellmembranen verformen

Zellen schnüren regelmäßig kleine Bläschen von ihrer Außenhaut ab und nehmen sie in ihr Inneres auf. Daran sind die EHD-Proteine beteiligt, die Professor Oliver Daumke vom MDC erforscht. Er und sein Team haben nun aufgeklärt, wie sich diese Proteine auf der Oberfläche von Zellen zusammenlagern und dadurch deren Außenhaut verformen.

Zellen schnüren regelmäßig kleine Bläschen von ihrer Außenhaut ab und nehmen sie in ihr Inneres auf. Daran sind die EHD-Proteine beteiligt, die Professor...

Im Focus: Safe glide at total engine failure with ELA-inside

On January 15, 2009, Chesley B. Sullenberger was celebrated world-wide: after the two engines had failed due to bird strike, he and his flight crew succeeded after a glide flight with an Airbus A320 in ditching on the Hudson River. All 155 people on board were saved.

On January 15, 2009, Chesley B. Sullenberger was celebrated world-wide: after the two engines had failed due to bird strike, he and his flight crew succeeded...

Im Focus: „Vernetzte Autonome Systeme“ von acatech und DFKI auf der CeBIT

Auf der IT-Messe CeBIT vom 20. bis 24. März präsentieren acatech – Deutsche Akademie der Technikwissenschaften und das Deutsche Forschungszentrum für Künstliche Intelligenz (DFKI) in Kooperation mit der Deutschen Messe AG vernetzte Autonome Systeme. In Halle 12 am Stand B 63 erwarten die Besucherinnen und Besucher unter anderem Roboter, die Hand in Hand mit Menschen zusammenarbeiten oder die selbstständig gefährliche Umgebungen erkunden.

Auf der IT-Messe CeBIT vom 20. bis 24. März präsentieren acatech – Deutsche Akademie der Technikwissenschaften und das Deutsche Forschungszentrum für...

Im Focus: Kühler Zwerg und die sieben Planeten

Erdgroße Planeten mit gemäßigtem Klima in System mit ungewöhnlich vielen Planeten entdeckt

In einer Entfernung von nur 40 Lichtjahren haben Astronomen ein System aus sieben erdgroßen Planeten entdeckt. Alle Planeten wurden unter Verwendung von boden-...

Im Focus: Mehr Sicherheit für Flugzeuge

Zwei Entwicklungen am Lehrgebiet Rechnerarchitektur der FernUniversität in Hagen können das Fliegen sicherer machen: ein Flugassistenzsystem, das bei einem totalen Triebwerksausfall zum Einsatz kommt, um den Piloten ein sicheres Gleiten zu einem Notlandeplatz zu ermöglichen, und ein Assistenzsystem für Segelflieger, das ihnen das Erreichen größerer Höhen erleichtert. Präsentiert werden sie von Prof. Dr.-Ing. Wolfram Schiffmann auf der Internationalen Fachmesse für Allgemeine Luftfahrt AERO vom 5. bis 8. April in Friedrichshafen.

Zwei Entwicklungen am Lehrgebiet Rechnerarchitektur der FernUniversität in Hagen können das Fliegen sicherer machen: ein Flugassistenzsystem, das bei einem...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

Poseidon goes Politics – Wer oder was regiert die Ozeane?

27.02.2017 | Veranstaltungen

Fachtagung Rapid Prototyping 2017 – Innovationen in Entwicklung und Produktion

27.02.2017 | Veranstaltungen

Aufbruch: Forschungsmethoden in einer personalisierten Medizin

24.02.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

Herz-Untersuchung: Kontrastmittel sparen mit dem Mini-Teilchenbeschleuniger

27.02.2017 | Medizintechnik

Neue Maßstäbe für eine bessere Wasserqualität in Europa

27.02.2017 | Biowissenschaften Chemie

Wenn der Schmerz keine Worte findet - Künstliche Intelligenz zur automatisierten Schmerzerkennung

27.02.2017 | Medizintechnik