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Neue Methode der Halbleiterherstellung

09.12.2003


Heute, Dienstag, hat IBM beim IEEE (International Electron Device Meeting) in Washington einen neuen Ansatz in der Nanotechnologie vorgestellt. Die IBM-Forscher haben erstmals ein molekulares Selbstanordnungsverfahren (molecular self assembly) verwendet, das vor allem für die Anwendung in künftigen Mikroelektronik-Technologien prädestiniert ist.



Das neue Selbstanordnungsverfahren nützt die Tendenz bestimmter Typen von Polymer-Molekülen, sich selbst zu organisieren. Die Moleküle verhalten sich dabei so, dass sie auf dem Chip Funktionen wesentlicher Bauelemente übernehmen und dabei kleiner, dichter, präziser und gleichförmiger sind als solche, die mit herkömmlichen Verfahren wie der Lithografie hergestellt wurden.



In einem konkreten Beispiel haben die Forscher die neue Methode dazu benutzt, um die Funktion eines Halbleiter-Speicher-Bauteils zu erhalten. Das Polymer bildet dabei die Form einer dicht gepackten Silizium-Nanokristall-Anordnung und wird zur Basis für eine Variante eines konventionellen Flash-Speichers. Die Herstellung des Teils inklusive der Selbstanordnung wurde auf 200 Millimeter Silizium-Wafern vollzogen. Die Methoden, die dabei benutzt wurden, sind voll kompatibel mit heute existierenden Chiperstellungs-Werkzeugen.

Das Verfahren ist besonders für Anwendungen in künftigen Mikroelektronik-Technologien attraktiv, da die hohen Kosten der Werkzeugerstellung und -änderung vermieden werden. Ebenso entfallen Risiken, die bei größeren Änderungen von Herstellungsprozessen auftreten

Wilhelm Bauer, | pressetext.austria
Weitere Informationen:
http://www.ibm.com

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