Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

PTB entwickelt mit internationalen Partnern Echtzeit-Überwachung von luftgetragenen Chemikalien bei der Halbleiterfertigung

05.08.2013
Wirklich reine Reinräume

Extreme Reinheit ist eine Grundvoraussetzung bei der Produktion von Halbleitern. Damit die Herstellung der winzigen Komponenten nicht durch Partikel in der Luft gestört wird, findet sie in speziellen Reinräumen statt.


In Reinräumen wie diesem soll künftig die Luftqualität in Echtzeit überwacht werden, damit empfindliche Produktionsprozesse nicht von luftgetragenen Chemikalien gestört werden. (Foto: PTB)

Durch verbesserte Technologien konnte das Problem störender Staubpartikel in den letzten Jahren bereits stark reduziert werden. Doch bei den stetig kleiner werdenden Abmessungen der Bauteile in der Halbleiterindustrie wird auch die luftgetragene Kontaminierung von Reinräumen durch chemische Substanzen, die sogenannte Airborne Molecular Contamination (AMC), zur ernsthaften Herausforderung. So können bereits kleinste Molekülkonzentrationen Schäden verursachen.

Ein europäisches Projekt unter Beteiligung der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) soll nun neue laserbasierte Methoden zur Messung dieser AMC untersuchen. In einer vorbereitenden Studie wurden zunächst die wichtigsten zu messenden Substanzen identifiziert.

Sie sind in Möbeln enthalten und treten aus manchen Fußbodenbelägen aus, und sie stören empfindliche Produktionsprozesse in der Halbleiterfertigung: luftgetragene Schadstoffe wie z.B. Ammoniak und Formaldehyd. In einer Studie im Rahmen eines neuen Forschungsprojekts zur Überwachung der Luftgüte in Reinräumen konnten diese beiden Substanzen als wichtige Schadstoffe bei der Herstellung von Halbleiter-Mikrostrukturen ausgemacht werden, die im Fokus des Projekts stehen sollen. „Ammoniak bleibt überall haften und kann so leicht von außen in den Reinraum getragen werden“, erklärt Anne Rausch von der PTB. „Außerdem entsteht es manchmal auch durch die Produktionsprozesse im Reinraum selbst.“

Ziel des jetzt gestarteten europäischen Kooperationsprojekts ist es, Methoden zu entwickeln, die die Echtzeit-Überwachung der Konzentration solcher Stoffe in der Luft von Reinräumen ermöglicht. „Wenn dann ein AMC-Anstieg registriert wird, kann die Produktion angehalten werden. Die betroffenen Komponenten können kontrolliert und notfalls entsorgt werden“, sagt Rausch.

Dabei strebt das Projekt Echtzeitmessungen bei einer Nachweisgrenze im Bereich von wenigen AMC-Teilchen in einer Milliarde Gesamtteilchen (ppb) an. Zu diesem Zweck sollen zunächst bestehende Methoden der Laser-Spektroskopie hinsichtlich ihrer Anwendbarkeit für AMC-Messungen verglichen und anschließend für die AMC-Überwachung optimiert werden. Anne Rausch und ihr Team untersuchen in der PTB die photoakustische Spektroskopie und die Cavity-Ring-Down-Spektroskopie. Europäische Partnerinstitute prüfen andere Messmethoden auf ihre Tauglichkeit.

Ein weiteres Ziel des Projekts ist die Herstellung von Referenzproben. Dabei handelt es sich um genau gemessene AMC-Konzentrationen, die zur Kalibrierung von Messgeräten verwendet werden können.

jok/ptb

„MetAMC – Metrology for airborne molecular contamination in manufacturing environments“

Das Projekt versammelt neben der PTB auch metrologische Partnerinstitute aus Finnland, der Tschechischen Republik, Italien, Großbritannien, den Niederlanden, die Universität von Turin und die Taiwanesische Firma HCP. Innerhalb des Europäischen Metrologie Forschungsprogramms EMRP wird es von der Europäischen Union mit insgesamt 2,9 Millionen Euro finanziell gefördert. Die Ergebnisse des Projekts werden europäischen Partnern in der Halbleiterindustrie unter anderem in Form von „Good Practice Guides“ für AMC-Messungen zur Verfügung gestellt. In einem Workshop am Ende des Projektes sollen die Resultate interessierten Teilnehmern vorgestellt werden. Informationen zur Anmeldung werden zu gegebener Zeit auf der Projektwebsite zur Verfügung gestellt. Kommerziell direkt verwertbare Arbeitsergebnisse werden zum Investitionsschutz der europäischen Industrie patentiert.

Weitere Informationen zum Projekt unter
http://www.ptb.de/emrp/ind63-home.html
Ansprechpartner
Dr. Anne Rausch: PTB-Arbeitsgruppe 3.22 Metrologische Molekülspektroskopie, Tel. (0531) 592-3221, E-Mail: anne.rausch@ptb.de

Dr. Olav Werhahn, PTB-Arbeitsgruppe 3.22 Metrologische Molekülspektroskopie, Tel. (0531) 592-3123, E-Mail: olav.werhahn@ptb.de

Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)

In Braunschweig und Berlin kommt die Zeit aus Atomuhren, erstrecken sich Längen bis weit hinab in die Nanowelt, forschen die Wissenschaftler an grundlegenden Fragen zu den physikalischen Einheiten und die Mitarbeiter in den Laboratorien kalibrieren Messgeräte für höchste Genauigkeitsansprüche. Damit gehört die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (an ihren Standorten Braunschweig und Berlin) zu den ersten Adressen in der internationalen Welt der Metrologie. Als das nationale Metrologieinstitut Deutschlands ist die PTB oberste Instanz bei allen Fragen des richtigen und zuverlässigen Messens. Sie ist technische Oberbehörde des Bundesministeriums für Wirtschaft und Technologie (BMWi) und beschäftigt an den beiden Standorten Braunschweig und Berlin insgesamt rund 1800 Mitarbeiter.

Johannes Kaufmann
Presse- und Öffentlichkeitsarbeit
Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
Bundesallee 100
38116 Braunschweig
Tel. 0531-592-9328
Fax 0531-592-3008
E-Mail: johannes.kaufmann@ptb.de

Johannes Kaufmann | PTB
Weitere Informationen:
http://www.ptb.de
http://www.ptb.de/de/aktuelles/archiv/presseinfos/pi2013/pitext/pi130805.html

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Biowissenschaften Chemie:

nachricht Ionen gegen Herzrhythmusstörungen – Nicht-invasive Alternative zu Katheter-Eingriff
20.01.2017 | GSI Helmholtzzentrum für Schwerionenforschung GmbH

nachricht Leibwächter im Darm mit chemischer Waffe
20.01.2017 | Max-Planck-Institut für chemische Ökologie

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Biowissenschaften Chemie >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Innovatives Hochleistungsmaterial: Biofasern aus Florfliegenseide

Neuartige Biofasern aus einem Seidenprotein der Florfliege werden am Fraunhofer-Institut für Angewandte Polymerforschung IAP gemeinsam mit der Firma AMSilk GmbH entwickelt. Die Forscher arbeiten daran, das Protein in großen Mengen biotechnologisch herzustellen. Als hochgradig biegesteife Faser soll das Material künftig zum Beispiel in Leichtbaukunststoffen für die Verkehrstechnik eingesetzt werden. Im Bereich Medizintechnik sind beispielsweise biokompatible Seidenbeschichtungen von Implantaten denkbar. Ein erstes Materialmuster präsentiert das Fraunhofer IAP auf der Internationalen Grünen Woche in Berlin vom 20.1. bis 29.1.2017 in Halle 4.2 am Stand 212.

Zum Schutz des Nachwuchses vor bodennahen Fressfeinden lagern Florfliegen ihre Eier auf der Unterseite von Blättern ab – auf der Spitze von stabilen seidenen...

Im Focus: Verkehrsstau im Nichts

Konstanzer Physiker verbuchen neue Erfolge bei der Vermessung des Quanten-Vakuums

An der Universität Konstanz ist ein weiterer bedeutender Schritt hin zu einem völlig neuen experimentellen Zugang zur Quantenphysik gelungen. Das Team um Prof....

Im Focus: Traffic jam in empty space

New success for Konstanz physicists in studying the quantum vacuum

An important step towards a completely new experimental access to quantum physics has been made at University of Konstanz. The team of scientists headed by...

Im Focus: Textiler Hochwasserschutz erhöht Sicherheit

Wissenschaftler der TU Chemnitz präsentieren im Februar und März 2017 ein neues temporäres System zum Schutz gegen Hochwasser auf Baumessen in Chemnitz und Dresden

Auch die jüngsten Hochwasserereignisse zeigen, dass vielerorts das natürliche Rückhaltepotential von Uferbereichen schnell erschöpft ist und angrenzende...

Im Focus: Wie Darmbakterien krank machen

HZI-Forscher entschlüsseln Infektionsmechanismen von Yersinien und Immunantworten des Wirts

Yersinien verursachen schwere Darminfektionen. Um ihre Infektionsmechanismen besser zu verstehen, werden Studien mit dem Modellorganismus Yersinia...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

Mittelstand 4.0 – Mehrwerte durch Digitalisierung: Hintergründe, Beispiele, Lösungen

20.01.2017 | Veranstaltungen

Nachhaltige Wassernutzung in der Landwirtschaft Osteuropas und Zentralasiens

19.01.2017 | Veranstaltungen

Künftige Rohstoffexperten aus aller Welt in Freiberg zur Winterschule

18.01.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

Ionen gegen Herzrhythmusstörungen – Nicht-invasive Alternative zu Katheter-Eingriff

20.01.2017 | Biowissenschaften Chemie

Ein neuer Index zur Diagnose einer nichtalkoholischen Fettlebererkrankung

20.01.2017 | Biowissenschaften Chemie

Das Cockpit für Kühlgeräte

20.01.2017 | Energie und Elektrotechnik