Ionenstrahltechnik

Nanoskalpell – Genauigkeit wird weiter gesteigert

Die Nachfrage ist groß: Fraunhofer IWM betreibt im Industrieauftrag Fehleranalyse und Verfahrensentwicklung – Zusammenarbeit mit Carl Zeiss zur Anlagenentwicklung

Wenn mikroelektronische Bauelemente versagen, dann steckt der Teufel im nur nanometerkleinen Detail. Den Fehler zu finden, seine Ursachen festzustellen und den Herstellern Änderungen vorzuschlagen, ist eine Kernaufgabe des Fraunhofer-Instituts für Werkstoffmechanik IWM in Halle.

Gemeinsam mit der Firma Carl Zeiss