157nm

Die Verbesserung industrieller Laseranwendungen

Laserstrahlung findet in der modernen Industrie vielfache Anwendung und ihre Reichweite auf den Gebieten Telekommunikation, Medizin und Projektionssysteme wächst. Eines der Haupteinsatzgebiete für Laserablation ist die Mikrobearbeitung zur Herstellung von Rasterungen und planaren Wellenleitern.

Im Rahmen des HARP-Projektes der EU konzentrierte man sich auf die Anwendung der kürzesten, kommerziell verfügbaren Laserwellenlänge von 157nm. Die 157nm-Wellenlänge geht mit zahlreichen