Multifunktionale Schicht – Photothermische Funktionalisierung organischer Schichten
Verfahren zur lokal eng begrenzten chemischen Funktionalisierung dünner organischer Schichten durch Bestrahlung mit einem Laser in reaktivem Medium. Durch weitere Reaktionsschritte lassen sich komplexe multifunktionale Strukturen im Submikrometer-Bereich – potenziell im Sub-100 nm Bereich – herstellen.
Kommerzielle Anwendung: Das Verfahren erlaubt den Aufbau komplexer chemischer Strukturen mit definierten Eigenschaften, die sich aus der Struktur auf molekularer Ebene ergeben. Anwendungen liegen in der Herstellung/Bearbeitung von Plattformen zum Aufbau von Sensor- und Biosensor-Arrays und von mikrofluidischen Chips insbesondere für die Analytik sowie in der gezielten lokalen Modifikation von Oberflächeneigenschaften, z. B. des Benetzungs-verhaltens von Bauteilen für Anwendungen in der Mikromechanik.
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