Kontakte auf Halbleiter-Nanosäulen
Halbleiter-Nanosäulen benötigen elektrische Kontakte auf deren Spitzen.
Die Erfindung ermöglicht lokale Kontaktierungen der Nanosäulen. Das Kontaktmaterial ist selektiv an den Enden der Nanosäulen angebracht. Eine Metallisierung der Seitenwände findet nicht statt.
Weitere Informationen: PDF
EZN Erfinderzentrum Norddeutschland GmbH
Tel.: +49 (0)511/85 03 08 – 0
Ansprechpartner
Dipl.-Ing. Andreas Deutsch
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