Gleichzeitige Erzeugung unterschiedlich dotierter Bereiche auf einer Solarzelle mit Borsilikatglas

Bei der Herstellung einer Rückkontakt-Solarzelle müssen sowohl negativ als auch positiv dotierte Bereiche auf der Rückseite der Solarzelle erzeugt werden. Weiterhin muss zur Minimierung der Oberflächenrekombination die Frontseite der Solarzelle ausreichend passiviert sein. Es werden also 3 Bereiche mit unterschiedlichen Dotierungen benötigt.
Wissenschaftler der Universität Konstanz haben jetzt ein neues Verfahren entwickelt, mit dem diese 3 Bereiche durch einen einzigen Diffusionsschritt erzeugt werden können. Möglich macht dies das Aufbringen einer Schicht aus Borsilikat-Glas und einer teilweisen Maskierung aus Silizium-Nitrid auf der Rückseite der Solarzelle.

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