Bereitstellung und Magazinierung von Mikrokörpern

Im Gegensatz zu einer makroskopischen Fertigung ist die Montage von komplexen Mikrosystemen nicht trivial, da Aufladungseffekte und andere adhäsive Eigenschaften der Mikrokomponenten eine Störgröße in der Handhabung z. B. mit Mikrogreifwerkzeugen bilden.Für die Serienmontage von komplexen Mikrosystemen wurde ein spezielles Magazin mit einem Entnahmeschacht für Mikrokomponenten entwickelt. Das Magazin ist derart konzipiert, dass jeweils nur eine Mikrokomponente für die Aufnahme durch einen an den Entnahmeschacht angepassten Sauggreifer bereitgestellt wird. Auf diese Weise lassen sich im Labor oder in einer Kleinserienferitgung sehr kleine Komponenten greifen und durch den Sauggreifer auch exakt positionieren und zusammenfügen.

Das Magazin ist einfach im Aufbau, mit geringen Kosten herstellbar und durch Erhöhung der Anzahl der Schächte leicht skalierbar.

Besonders eignet sich das System für die Magazinierung für mikrooptische Komponenten wie Linsen oder Prismen, die bereits im Magazin für eine anschließende Aufnahme ausgerichtet vorgehalten werden können.

Dr. Andreas Weddigen
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
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