Topographieerfassung
Das neu entwickelte Verfahren zur Schwingungskompensation in der Weißlichtinterferometrie ermöglicht erstmals den Einsatz dieses hochpräzisen 3D-Oberflächenmessverfahrens in der laufenden Fertigung. Grundlage der Schwingungskompensation ist ein zusätzlicher Sensor zur zeitlich aufgelösten Messung von Abstandsänderungen, der in das Interfero¬meter integriert ist.
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Dr. Heike Krömker
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