Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Durchbruch in der Mikrosystemtechnik

16.10.2003


Rasterelektronenmikroskopische Aufnahme eines mikrostrukturierten Zahnrads: Die saubere Oberfläche der metallenen Struktur ist vollständig von SU-8 Fotolack gereinigt.


Experten von IMM und M-O-T entwickeln gemeinsam ein neues Verfahren zur Entfernung von SU-8(TM) Fotolacken aus Mikrostrukturen

... mehr zu:
»Fotolack »IMM »M-O-T »Mikrosystemtechnik »SU-8

Für die Herstellung von Bauelementen der Mikrosystemtechnik finden häufig lithografische Verfahren Anwendung. Mit dem SU-8(TM) Fotolack steht sowohl im Röntgen- als auch im UV-Bereich ein formgebender Fotolack zur Verfügung, der z.B. die Herstellung von metallischen dreidimensionalen Mikrostrukturen mit großen Breiten-/ Höhenverhältnissen (Aspektverhältnis) im LIGA-Verfahren (Lithografie Galvanik Abformung) erlaubt.

Eine Expertengruppe aus der Institut für Mikrotechnik Mainz GmbH (IMM) und der M-O-T Mikro- und Oberflächentechnik GmbH (Speyer) entwickelte unter der Leitung von Dr. Holger Löwe ein neuartiges Verfahren zur vollständigen Entfernung von SU-8(TM) Fotolack aus mikrostrukturierten Bauteilen.


Bisher ließen sich die hervorragenden Eigenschaften und Strukturierungsmöglichkeiten des SU-8(TM) nur eingeschränkt nutzen. Der Hauptgrund bestand darin, dass sich prozessierter SU-8(TM) Fotolack, d.h. die Form, nur mit Schwierigkeiten und häufig zum Nachteil des mikrostrukturierten Bauteils wieder aus der galvanisch erzeugten Struktur entfernen ließ.

Der weltweit intensiv gesuchte Schlüssel zur Lösung des Problems liegt in einem bereits 1998 vom IMM patentierten Verfahren (DE 198 13 235) zur Entfernung von PMMA Röntgenfotolack. Dies konnte durch geeignete Modifizierung an die Belange der SU-8(TM) Fotolackentfernung angepasst werden.

Das neue Verfahren arbeitet ebenso nasschemisch wie im Patent beschrieben. Galvanische Schichten aus Kupfer, Nickel und Nickellegierungen, insbesondere Nickel-Eisen-Legierungen, lassen sich ohne merklichen Angriff des Ätzmediums vom SU-8 Fotolack befreien.

Das Expertenteam von IMM und M-O-T prüft derzeit die Einsatzmöglichkeit des Verfahrens in Verbindung mit anderen Metallen, wie Gold und Silber. Die Entwicklung der entsprechenden Anlagentechnik ist abgeschlossen. Systeme, die auch in eine vorhandene Reinraumumgebung integrierbar sind, können bereits über M-O-T bezogen werden.

Dr. Stefan Kurze | imm
Weitere Informationen:
http://imm.mediadialog24.de/v0/vvseitend/vvpresse/presse_detail.php?id=168
http://www.m-o-t.info/

Weitere Berichte zu: Fotolack IMM M-O-T Mikrosystemtechnik SU-8

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Verfahrenstechnologie:

nachricht Bionik im Leichtbau
17.08.2018 | Technische Hochschule Mittelhessen

nachricht Phänomenologisches Berechnungskonzept verkürzt das Auslegen von Spritzgussformteilen
13.08.2018 | Fraunhofer-Institut für Betriebsfestigkeit und Systemzuverlässigkeit LBF

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Verfahrenstechnologie >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Die Mischung macht‘s: Jülicher Forscher entwickeln schnellladefähige Festkörperbatterie

Mit Festkörperbatterien sind aktuell große Hoffnungen verbunden. Sie enthalten keine flüssigen Teile, die auslaufen oder in Brand geraten könnten. Aus diesem Grund sind sie unempfindlich gegenüber Hitze und gelten als noch deutlich sicherer, zuverlässiger und langlebiger als herkömmliche Lithium-Ionen-Batterien. Jülicher Wissenschaftler haben nun ein neues Konzept vorgestellt, das zehnmal größere Ströme beim Laden und Entladen erlaubt als in der Fachliteratur bislang beschrieben. Die Verbesserung erzielten sie durch eine „clevere“ Materialwahl. Alle Komponenten wurden aus Phosphatverbindungen gefertigt, die chemisch und mechanisch sehr gut zusammenpassen.

Die geringe Stromstärke gilt als einer der Knackpunkte bei der Entwicklung von Festkörperbatterien. Sie führt dazu, dass die Batterien relativ viel Zeit zum...

Im Focus: It’s All in the Mix: Jülich Researchers are Developing Fast-Charging Solid-State Batteries

There are currently great hopes for solid-state batteries. They contain no liquid parts that could leak or catch fire. For this reason, they do not require cooling and are considered to be much safer, more reliable, and longer lasting than traditional lithium-ion batteries. Jülich scientists have now introduced a new concept that allows currents up to ten times greater during charging and discharging than previously described in the literature. The improvement was achieved by a “clever” choice of materials with a focus on consistently good compatibility. All components were made from phosphate compounds, which are well matched both chemically and mechanically.

The low current is considered one of the biggest hurdles in the development of solid-state batteries. It is the reason why the batteries take a relatively long...

Im Focus: Farbeffekte durch transparente Nanostrukturen aus dem 3D-Drucker

Neues Design-Tool erstellt automatisch 3D-Druckvorlagen für Nanostrukturen zur Erzeugung benutzerdefinierter Farben | Wissenschaftler präsentieren ihre Ergebnisse diese Woche auf der angesehenen SIGGRAPH-Konferenz

Die meisten Objekte im Alltag sind mit Hilfe von Pigmenten gefärbt, doch dies hat einige Nachteile: Die Farben können verblassen, künstliche Pigmente sind oft...

Im Focus: Color effects from transparent 3D-printed nanostructures

New design tool automatically creates nanostructure 3D-print templates for user-given colors
Scientists present work at prestigious SIGGRAPH conference

Most of the objects we see are colored by pigments, but using pigments has disadvantages: such colors can fade, industrial pigments are often toxic, and...

Im Focus: Eisen und Titan in der Atmosphäre eines Exoplaneten entdeckt

Forschende der Universitäten Bern und Genf haben erstmals in der Atmosphäre eines Exoplaneten Eisen und Titan nachgewiesen. Die Existenz dieser Elemente in Gasform wurde von einem Team um den Berner Astronomen Kevin Heng theoretisch vorausgesagt und konnte nun von Genfern Astronominnen und Astronomen bestätigt werden.

Planeten in anderen Sonnensystemen, sogenannte Exoplaneten, können sehr nah um ihren Stern kreisen. Wenn dieser Stern viel heisser ist als unsere Sonne, dann...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

VideoLinks
Industrie & Wirtschaft
Veranstaltungen

Dialog an Deck, Science Slam und Pong-Battle

21.08.2018 | Veranstaltungen

LaserForum 2018 thematisiert die 3D-Fertigung von Komponenten

17.08.2018 | Veranstaltungen

Aktuelles aus der Magnetischen Resonanzspektroskopie

16.08.2018 | Veranstaltungen

VideoLinks
Wissenschaft & Forschung
Weitere VideoLinks im Überblick >>>
 
Aktuelle Beiträge

Zukünftige Informationstechnologien: Wärmetransport auf der Nanoskala unter die Lupe genommen

21.08.2018 | Physik Astronomie

Bedeutung des „Ozeanwetters“ für Ökosysteme

21.08.2018 | Biowissenschaften Chemie

Auf dem Weg zur personalisierten Medizin

21.08.2018 | Biowissenschaften Chemie

Weitere B2B-VideoLinks
IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics