Computertomographie jetzt auch für Elektronik

Ein Mensch im Computertomographen – das ist seit Jahren ein gewohnter Anblick; diese Technik ist bei der Diagnostik in der Humanmedizin inzwischen Standard. Forscher von Siemens haben die Durchleuchtungstechnik jetzt weiter entwickelt und ihr ein völlig neues Anwendungsgebiet erschlossen: Die Fehlererkennung bei mikrotechnischen Produkten im Kleinstformat.

Viele moderne elektronische Geräte, wie etwa Innenohr-Hörgeräte, sind mittlerweile so stark miniaturisiert, dass sich ihr Innenleben nur noch unter dem Mikroskop analysieren lässt. Im Prinzip ist das kein Problem, doch da die einzelnen Bauelemente auf engstem Raum und in mehreren, übereinander gelagerten Schichten aufgebaut werden, war eine genauere Untersuchung des Geräts bislang fast zwangsläufig mit einer Zerstörung des Produkts verbunden.

Was liegt da näher, als das entsprechende Gerät einfach per Röntgenstrahlen zu durchleuchten und sich vom Computer ein dreidimensionales Abbild seines Innenlebens erstellen zu lassen? Bisher scheiterte dies an der relativ geringen Auflösung von 0,6 Millimeter, die von medizinischen Computertomographen erreicht wird. Die neue Technik bringt es dagegen auf ein Auflösungsvermögen von wenigen tausendstel Millimetern – ausreichend für den Einsatz in der Elektronik. Verdeckte oder umschlossene Strukturen in Prototypen können nun schon in der Entwicklungsphase problemlos auf Abweichungen von den Designplänen untersucht werden, wodurch sich die Produktentwicklung erheblich beschleunigt. Darüber hinaus könnte die neue Technik auch zur Qualitätssicherung eingesetzt werden.