Das LZH unterstützt die Miniaturisierung von elektrischen Schaltkreisen für Computer

Die Herstellung der nächsten, besseren Generation von Halbleiterchips und Speicherbauteilen hängt von vielen Faktoren ab. Unter anderem sind geeignete Optiken für extrem kurzwellige Lasersysteme notwendig. Diese Optiken werden ebenfalls ständig weiterentwickelt und bestehen oft aus neuartigen Materialien und Komponenten. Deshalb bedürfen sie einer grundlegenden Charakterisierung bevor sie für die Halbleiterherstellung eingesetzt werden können.

Um die Charakterisierung der Optiken in einem kostengünstigen, einfach zu bedienenden System zu ermöglichen, fand ein vom Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie (BMWi) unterstütztes Forschungsprojekt statt. Zentrale Zielstellung des Projekts war es, geeignete Verfahren zur Charakterisierung neuartiger Materialien und Komponenten in Bezug auf ihre Einsetzbarkeit für die Halbleiterherstellung zu erarbeiten und ein geeignetes Spektralphotometer zu entwickeln.

Das Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) war an diesem Projekt beteiligt, zusammen mit Partnern von der Strahlquellenentwicklung über die Herstellung von Strahlführungskomponenten und Detektionssystemen bis hin zur Konstruktion und Anwendung von spektralphotometrischen Messinstrumenten. Im Projekt ist es gelungen, ein praxisnahes Messverfahren zur Optikcharakterisierung im EUV-Bereich in Form eines Prototyp-Spektralphotometers zu realisieren.

Mit Hilfe dieses Messgeräts ist es nunmehr möglich – auch für kleine und mittlere Unternehmen – Optiken für die Halbleiterherstellung ohne großen Aufwand zu charakterisieren. Die nächste Computergeneration kann kommen!

Kontakt:
Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH)
Michael Botts
Hollerithallee 8
D-30419 Hannover
Tel.: +49 511 2788-151
Fax: +49 511 2788-100
E-Mail: m.botts@lzh.de
Das Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) ist eine durch Mittel des niedersächsischen Ministeriums für Wirtschaft, Arbeit und Verkehr unterstützte Forschungs- und Entwicklungseinrichtung auf dem Gebiet der Lasertechnik.