157nm & EUV – Von der Mikrosystemtechnik zur Nanotechnologie

Experten aus Wissenschaft und Wirtschaft treffen sich zum ersten PhotonicNet-Forum in Göttingen.

Am 11. Dezember lädt PhotonicNet, das Kompetenznetz für Optische Technologien in Niedersachsen, zu einem intensiven Austausch über den Entwicklungsstand und potentielle Anwendungen von Lasern mit einer Wellenlänge von 157nm bis hin zu Extrem-UV ein. Die eintägige Veranstaltung findet in Kooperation mit der Firma Lambda Physik statt. Im neu gestalteten Hörsaal des Herstellers von Strahlquellen werden sich etwa 60 Experten aus ganz Deutschland zu Vorträgen und anschließender Diskussion zusammenfinden.

Laser mit einer Wellenlänge von 157 nm verkörpern die stärkste kohärente Lichtquelle (Erzeugung parallele Lichtwellen, die im Gleichtakt schwingen) im tief ultravioletten Spektrum, die heutzutage kommerziell verfügbar ist. Durch ihre extrem kurze Wellenlänge ermöglichen diese Fluor- oder auch F2-Laser sehr hohe Auflösungen und hinterlassen durch den relativ kalten Abtrag im bearbeiteten Material weder störende Schmelzgrate noch Mikrorisse.
Bearbeitungsmöglichkeiten im Nanometer-Bereich sind in der heutigen Zeit der Miniaturisierung von Fertigungsprozessen von großer Bedeutung. So macht die präzise Herstellung extrem kleiner Strukturen F2-Laser für zahlreiche Anwendungen in Medizin, Wissenschaft, Industrie und Lithographie interessant. 157nm-Strahlung wird in der Lithographie, also der Herstellung von Halbleiterstrukturen für Computer- und Telekommunikationssysteme eingesetzt. Hier dienen sie zur Übertragung der Schaltungsentwürfe auf die Siliziumwafer. Die schnellen Prozessor-Generationen der modernen Computer wären ohne die Mikrostrukturierung mittels dieser energiereichen Strahlung nicht denkbar.
Wo liegen weitere Einsatzbereiche dieser Technologie? Eine wichtige Frage, die während des Forum am 11. Dezember diskutiert werden soll. Vieles befindet sich bereits in der Erprobung: so z.B. die Produktion kleinster Quarzoptiken für mikroelektronische, -mechanische und -optische Systeme. Oder in der Medizintechnik, die Bearbeitung von Gefäßstützen für Herzkranzgefäße. Diese sogenannten Stents verhindern ein Kollabieren der Blutbahnen und müssen aus biokompatiblem Material hergestellt werden, das nicht im Körper reagiert und keine Verletzungen hervorruft. Mit Hilfe von F2-Lasern können feinste Kanäle und Durchbrüche in das polymere Material eingearbeitet werden.

Lambda Physik gehört weltweit zu den führenden Unternehmen im Bereich der Excimerlaser-Technologie. Den Teilnehmern des Forums wird Gelegenheit gegeben, das Göttinger Werk zu besichtigen und sich über neueste Entwicklungen zu informieren.

Mit der Einrichtung eines regelmäßigen Forums möchte PhotonicNet bundesweit Kontakte zwischen Unternehmen und Forschungseinrichtungen fördern und zum Ideenaustausch als Vorbereitung für künftige Forschungskooperationen anregen.