Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Verfahren zur Herstellung von Seltenerdmetalloxidschichten für Halbleiterbauteile

21.10.2015

Mit zunehmender Miniaturisierung mikroelektronischer Bauteile steigen die Anforderungen an die in der Halbleiterindustrie benötigten Transistoren. Eine besondere Herausforderung ist die Herstellung von dünnen Isolationsschichten bei den Feldeffekttransistoren, den sogenannten MOSFETs - Metall-Oxid-Halbleiter Feldeffekttransistoren. Im Institut für reine und angewandte Chemie der Carl von Ossietzky Universität Oldenburg wurde ein Verfahren entwickelt, dass die Abscheidung hochreiner Metalloxidschichten z. B. auf Siliziumdioxid-Oberflächen ermöglicht. Der Prozess verläuft bei relativ geringen Temperaturen und benötigt keine besonderen Vorkehrungen bezüglich Reinheit, Vakuum, etc. Je nach Wunsch und Anwendungsgebiet können sowohl extrem glatte, als auch unterschiedlich poröse Schichten in hoher Reinheit hergestellt werden. Derzeit können sehr reine Schichten aus Seltenerd-Oxiden (Lanthanoxid und Neodymoxid) von weniger als 10 nm sowie poröse Strukturen der Oxide mit Schichtdicken von etwa 250 nm erzeugt werden. Diese können als haftungs- oder funktionsvermittelnde Zwischenlagen auf verschiedene Bauteile aufgebracht werden. Die Oxide der Seltenerdmetalle sind hierfür besonders geeignet, da sie über eine große Bandlücke (> 5eV) sowie eine hohe dielektrische Leitfähigkeit (relative Permittivität von 20-40) verfügen. Niedrige Zersetzungstemperaturen der eingesetzten Vorläufermoleküle ermöglichen milde und energieeffiziente Prozessbedingungen. Durch ihre einfache Anwendbarkeit kann die vorgestellte Technologie unproblematisch in standardisierten Industrieprozessen eingesetzt werden.

Weitere Informationen: PDF

InnoWi GmbH
Tel.: +49 (0)421/9600-70

Ansprechpartner
Dr. Lieselotte Riegger

Der TechnologieAllianz e.V. als Verband deutscher Technologie- und Patentverwertungs-Agenturen erschließt Unternehmen das gesamte Spektrum innovativer Forschungsergebnisse nahezu aller deutschen Hochschulen und diverser außeruniversitärer Forschungsstätten. Über 2.000 verschiedene, in der Regel bereits patentierte Technologie-Angebote aus 14 Branchen stehen Unternehmen zur Verfügung, um ihnen einen Zeitvorsprung am Markt zu sichern. Unter www.technologieallianz.de bieten die Mitglieder der TechnologieAllianz einen kostenlosen, schnellen und unbürokratischen Zugang zu allen weiteren Angeboten der deutschen Forschungslandschaft ebenso wie gezielte Unterstützung zur erfolgreichen Vermittlung der Technologien.

info@technologieallianz.de | TechnologieAllianz e.V.
Weitere Informationen:
http://www.technologieallianz.de/angebote.php?sort=sag&id=04350&lang=de
http://www.technologieallianz.de/

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Technologieangebote >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Ein Chip mit echten Blutgefäßen

An der TU Wien wurden Bio-Chips entwickelt, in denen man Gewebe herstellen und untersuchen kann. Die Stoffzufuhr lässt sich dabei sehr präzise dosieren.

Menschliche Zellen in der Petrischale zu vermehren, ist heute keine große Herausforderung mehr. Künstliches Gewebe herzustellen, durchzogen von feinen...

Im Focus: A Chip with Blood Vessels

Biochips have been developed at TU Wien (Vienna), on which tissue can be produced and examined. This allows supplying the tissue with different substances in a very controlled way.

Cultivating human cells in the Petri dish is not a big challenge today. Producing artificial tissue, however, permeated by fine blood vessels, is a much more...

Im Focus: Optimierung von Legierungswerkstoffen: Diffusionsvorgänge in Nanoteilchen entschlüsselt

Ein Forschungsteam der TU Graz entdeckt atomar ablaufende Prozesse, die neue Ansätze zur Verbesserung von Materialeigenschaften liefern.

Aluminiumlegierungen verfügen über einzigartige Materialeigenschaften und sind unverzichtbare Werkstoffe im Flugzeugbau sowie in der Weltraumtechnik.

Im Focus: Graphen auf dem Weg zur Supraleitung

Doppelschichten aus Graphen haben eine Eigenschaft, die ihnen erlauben könnte, Strom völlig widerstandslos zu leiten. Dies zeigt nun eine Arbeit an BESSY II. Ein Team hat dafür die Bandstruktur dieser Proben mit extrem hoher Präzision ausgemessen und an einer überraschenden Stelle einen flachen Bereich entdeckt. Möglich wurde dies durch die extrem hohe Auflösung des ARPES-Instruments an BESSY II.

Aus reinem Kohlenstoff bestehen so unterschiedliche Materialien wie Diamant, Graphit oder Graphen. In Graphen bilden die Kohlenstoffatome ein zweidimensionales...

Im Focus: Datensicherheit: Aufbruch in die Quantentechnologie

Den Datenverkehr noch schneller und abhörsicher machen: Darauf zielt ein neues Verbundprojekt ab, an dem Physiker der Uni Würzburg beteiligt sind. Das Bundesforschungsministerium fördert das Projekt mit 14,8 Millionen Euro.

Je stärker die Digitalisierung voranschreitet, umso mehr gewinnen Datensicherheit und sichere Kommunikation an Bedeutung. Für diese Ziele ist die...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

VideoLinks
Industrie & Wirtschaft
Veranstaltungen

Tagung informiert über künstliche Intelligenz

13.11.2018 | Veranstaltungen

Wer rechnet schneller? Algorithmen und ihre gesellschaftliche Überwachung

12.11.2018 | Veranstaltungen

Profilierte Ausblicke auf die Mobilität von morgen

12.11.2018 | Veranstaltungen

VideoLinks
Wissenschaft & Forschung
Weitere VideoLinks im Überblick >>>
 
Aktuelle Beiträge

MagicMoney: Offline bezahlen – mit deinem Smartphone

13.11.2018 | Wirtschaft Finanzen

5G sichert Zukunft von Industrie 4.0 – DFKI mit der SmartFactoryKL auf der SPS IPC Drives

13.11.2018 | Messenachrichten

Tagung informiert über künstliche Intelligenz

13.11.2018 | Veranstaltungsnachrichten

Weitere B2B-VideoLinks
IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics