Optisch gepumpte Halbleitervorrichtungen zur Erzeugung langwelliger Strahlung und deren Herstellung.
Optisch gepumpte Halbleiter-Scheibenlaser – VECSEL = Vertical External Cavity
Surface Emitting Laser und MILOS = Monolithically Integrated Lateral Optically-pum-
ped Semiconductor disk laser – emittieren Laserstrahlung senkrecht zur Oberfläche
eines Halbleiter-Laserchips und verbinden vorteilhafte Strahleigenschaften mit einer
effizienten Wärmedissipation. Entscheidend für ihren Wirkungsgrad ist ein hinsichtlich
der Absorption des Pumplichts und der Emission der gewünschten Wellenlänge opti-
miertes Lasermedium, das durch zwei auf diese Wellenlänge abgestimmte Spiegel
(Endspiegel mit Reflektivität R = 100 %, externer Auskoppelspiegel mit R < 100 %)
begrenzt wird. Endspiegel und Lasermedium werden epitaktisch als gestapelte
Multilayer-Struktur auf einem einkristallinen Substrat abgeschieden.
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Dr. Peter Stumpf
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