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Hyperspektralimagervorsatz zur flächigen Dünnschichtvermessung

26.01.2016

Zur flächigen Schichthöhenbestimmung wurde erstmals ein Messsystem basierend auf einem Hyperspektralimager entwickelt. Ein Vorsatz formt eine Messlinie, deren Reflektion am Messobjekt auf den Eingangsspalt des Hyperspektralimagers abgebildet wird. Aus den spektralen Daten der Reflektanz wird die Schichthöhe jedes örtlich auflösbaren Pixels des zu untersuchenden Objekts rekonstruiert. Bewegt sich das Messobjekt linear gleichförmig, ergeben zusammengesetzte Messlinien eine Messfläche. Zudem kann zu jeden örtlich auflösbaren Pixel der Abstand zwischen Vorbau und Messobjekt ermittelt werden.

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