Halterung mit schwingungsdämpfenden (Tief)-Temperaturleitern z. B. beim Einsatz in der PVD
Die vorliegende Entwicklung bringt an einer Halterung, Target oder Detektor mehrere
Temperaturleiter an, die eine Schwingungsdämpfung bewirken. Die Kontaktfläche zwischen Temperaturleiter und Halterung weist keine Lufteinschlüsse auf. Das hat den Vorteil, dass die so gelagerte Halterung auf eine bestimmte (Tief- / Hoch)Temperatur (-200°C bis über 600°C) gebracht werden kann. Weiterhin ist eine elektrische Leitung zur Halterung gegeben. Durch die schwingungsgedämpfte Anordnung wirken Schwingungen der Umgebung (Pumpen, Temperaturerzeugung) nicht mehr direkt auf das Bauteil ein.
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TransMIT Gesellschaft für Technologietransfer mbH
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Dr. Peter Stumpf
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