Vorrichtung zur Überwachung von Ätzvorgängen
An der Universität des Saarlandes im Fachbereich Mikromechanik wurde eine neuar-tige Vorrichtung zur Überwachung von nasschemischen Ätzvorgängen entwickelt. Dabei kann das gewünschte Endpunkt des Ätzvorgangs (Ätzstopp) durch kontinuierliche Messung während des nasschemischen Strukturierungsvorgangs bestimmt werden.
Weitere Informationen: PDF
Universität des Saarlandes Wissens- und Technologietransfer GmbH PatentVerwertungsAgentur der saarländischen Hochschulen
Tel.: +49 (0)681/9386376
Ansprechpartner
Dipl.-Kfm. Axel Koch MBA, Dr. Dirk Schwingel
Media Contact
Alle Nachrichten aus der Kategorie: Technologieangebote
Neueste Beiträge
Neue universelle lichtbasierte Technik zur Kontrolle der Talpolarisation
Ein internationales Forscherteam berichtet in Nature über eine neue Methode, mit der zum ersten Mal die Talpolarisation in zentrosymmetrischen Bulk-Materialien auf eine nicht materialspezifische Weise erreicht wird. Diese „universelle Technik“…
Tumorzellen hebeln das Immunsystem früh aus
Neu entdeckter Mechanismus könnte Krebs-Immuntherapien deutlich verbessern. Tumore verhindern aktiv, dass sich Immunantworten durch sogenannte zytotoxische T-Zellen bilden, die den Krebs bekämpfen könnten. Wie das genau geschieht, beschreiben jetzt erstmals…
Immunzellen in den Startlöchern: „Allzeit bereit“ ist harte Arbeit
Wenn Krankheitserreger in den Körper eindringen, muss das Immunsystem sofort reagieren und eine Infektion verhindern oder eindämmen. Doch wie halten sich unsere Abwehrzellen bereit, wenn kein Angreifer in Sicht ist?…
