Mikrostrukturierung von korrosionsbeständigen Funktionsschichten
Sie weisen eine ausgeprägte chemische Korrosionsbeständigkeit durch Oberflächenpassivierung auf, was ihre nasschemische Strukturierbarkeit und damit ihren Einsatz in der Mikrosystemtechnik erschwert. Zur Mikrostrukturierung von Pd-haltigen Funktionsschichten wurde ein Verfahren entwickelt, das mehrere Einzelschritte umfasst, die separat einsetzbar und dem Aufbau der Funktionsschicht individuell anpassbar sind. Gegenüber konkurrierenden Verfahren, wie etwa der Laserstrukturierung, ermöglicht das Verfahren eine parallele Bearbeitung einer Vielzahl von Mikrostrukturen, wodurch sich der Aufwand deutlich reduziert.
Formgedächtnislegierungen werden zur Herstellung mikromechanischer Komponenten, wie zum Beispiel Schalter, eingesetzt.
Dr. Andreas Weddigen
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
Stabsabteilung Marketing, Patente und Lizenzen
Hermann-von-Helmholtz-Platz 1
D-76344 Eggenstein-Leopoldshafen
info@map.fzk.de
Media Contact
Weitere Informationen:
http://www.fzk.de/fzk/idcplg?IdcService=TTB&document=ID_055602&lnode=3452Alle Nachrichten aus der Kategorie: Technologieangebote
Neueste Beiträge
Bakterien für klimaneutrale Chemikalien der Zukunft
Forschende an der ETH Zürich haben Bakterien im Labor so herangezüchtet, dass sie Methanol effizient verwerten können. Jetzt lässt sich der Stoffwechsel dieser Bakterien anzapfen, um wertvolle Produkte herzustellen, die…
Batterien: Heute die Materialien von morgen modellieren
Welche Faktoren bestimmen, wie schnell sich eine Batterie laden lässt? Dieser und weiteren Fragen gehen Forschende am Karlsruher Institut für Technologie (KIT) mit computergestützten Simulationen nach. Mikrostrukturmodelle tragen dazu bei,…
Porosität von Sedimentgestein mit Neutronen untersucht
Forschung am FRM II zu geologischen Lagerstätten. Dauerhafte unterirdische Lagerung von CO2 Poren so klein wie Bakterien Porenmessung mit Neutronen auf den Nanometer genau Ob Sedimentgesteine fossile Kohlenwasserstoffe speichern können…