Integrierbare chemoanalytische Mikrosysteme für Überwachungsaufgaben und Intelligente Prozessleitsysteme
In der Regel werden für die Messung des Gasensembles Sensor-Arrays eingesetzt, die einen komplexen Aufbau und daher hohe Herstellungskosten aufweisen.Durch Segmentierung eines einzigen Metalloxidfilms, der eine wenige Nanometer dünne gaspermeable Membranschicht trägt, und Differenzierung der Sensorsegmente durch eine Temperatur- und Membrangradiententechnik wurde ein kostengünstiges Mikroarray entwickelt, das für einzelne Gase sowie für komplexe Gasensembles charakteristische Leitfähigkeitsmuster liefert, die eine leistungsfähige kontinuierliche Gascharakterisierung ermöglichen.
Das gasanalytische Mikrosystem ermöglicht die schnelle Aufnahme bzw. Verfolgung beliebig komplexer Gasensembles oder die Unterscheidung einzelner Gase. Zudem ist neben der qualitativen Analyse auch eine Quantifizierung möglich.
Für das gasanalytische Mikrosystem sind eine Vielzahl von Anwendungen möglich, so z. B. für die Prozessüberwachung und in folgedessen zur Qualitätssteigerung sowie Kostenreduktion, für die Umwelttechnik aber auch Medizin- oder Haushalttechnik.
Dr. Rainer Körber
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
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