Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Fraunhofer IST investiert in neues Sputtersystem für Präzisionsoptiken

25.05.2012
Mit einer hochmodernen Sputteranlage zur Herstellung von hochpräzisen optischen Interferenzsystemen geht das Fraunhofer-Institut für Schicht-und Oberflächentechnik IST neue Wege in der Herstellung von Interferenzoptiken und begegnet damit den kontinuierlich steigenden Anforderungen an optische Präzisionsfilter. Das »Enhanced Optical Sputtering System – EOSS« wurde in Kooperation mit FHR Anlagenbau entwickelt.

Optische Hochpräzisionsfilter bestehen aus vielen übereinander gestapelten Schichten, die abwechselnd bestimmte Spektralbereiche des Lichts durchlassen oder reflektieren. Sie sind wichtige Kernelemente vieler Spezialanwendungen, wie z.B. bei spektroskopischen Instrumenten in der Raumfahrttechnik, Hochleistungs-Lichtwellenleitern, in der UV-Photolithografie oder der optischen Hochpräzisionsanalytik.


Aufsicht auf den Drehteller der EOSS-Anlage am Fraunhofer IST. © Fraunhofer IST

Mit zunehmender Spezialisierung steigen auch die Anforderungen bezüglich Homogenität und Reproduzierbarkeit. Das neue Sputtersystem EOSS ermöglicht es jetzt, hochpräzise, partikelarme und langzeitstabile Optiken mit hohem Durchsatz reproduzierbar herzustellen.

Dazu werden die Schichten aus bis zu drei Quellen durch Magetronsputtern auf das Substrat aufgebracht. Weltweit erstmalig werden in einer Präzisionsoptikanlage zylindrische Sputterkathoden eingesetzt, mit denen im Gegensatz zu ihren planaren Pendants eine deutlich verbesserte Schichtdickenverteilung auch über mehrere Wochen Betriebsdauer gewährleistet werden kann.

Zur weiteren Verminderung von Partikelkontaminationen wurde die gesamte Anlage als »sputter-up«-System ausgelegt. Die Beschichtung erfolgt in diesem Fall von unten nach oben, so dass schwerere Partikel nicht auf den Substraten kondensieren können. Ein optisches Breitbandmonitoringsystem ermöglicht höchste Präzision und Prozesssicherheit sowie die vollautomatische Produktion auch komplexer optischer Filter.

Die technischen Daten der EOSS:

- Sputterleistungen bis 20 kW pro Meter und Target
- Prozessautomatisierung durch MOCCA+
- Spektrales und monochromatisches Transmissions­monitoring
- RF-Plasmaquelle
- Magazinsystem für Substratcarrier
- Vollbestückung der Anlage von Atmosphärendruck zu 1x10-6 mBar Schleusendruck, inklusive Schleusen in weniger als 20 Minuten
- 10 Substratcarrier mit einem nutzbaren Durchmesser von 200 mm und einer nutzbaren Dicke von 30 mm
- Basisdruck ca. 1x10-7 mbar, erreichbar innerhalb von 24 Stunden nach dem Schließen der Anlage zu Wartungszwecken
- Substratheizung bis 300 °C Substrattemperatur

Pressekontakt Fraunhofer IST:
Dr. Simone Kondruweit | Telefon 0531 2155-536 | Fax: 0531 2155-900 |
E-Mail: info@ist.fraunhofer.de
Elena Dröge | Telefon 0531 2155-536 |
E-Mail: elena.droege@ist.fraunhofer.de

Dr. Simone Kondruweit | Fraunhofer-Institut
Weitere Informationen:
http://www.ist.fraunhofer.de/

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Physik Astronomie:

nachricht Wie aus Staub Planeten entstehen
21.11.2018 | Technische Universität Braunschweig

nachricht Erste Diode für Magnetfelder
21.11.2018 | Universität Innsbruck

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Physik Astronomie >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Erste Diode für Magnetfelder

Innsbrucker Quantenphysiker haben eine Diode für Magnetfelder konstruiert und im Labor getestet. Das von den Forschungsgruppen um den Theoretiker Oriol Romero-Isart und den Experimentalphysiker Gerhard Kirchmair entwickelte Bauelement könnte eine Reihe neuer Anwendungen ermöglichen.

Elektrische Dioden sind wichtige elektronische Bauteile, die elektrischen Strom in eine Richtung leiten, die Stromleitung in der anderen Richtung aber...

Im Focus: First diode for magnetic fields

Innsbruck quantum physicists have constructed a diode for magnetic fields and then tested it in the laboratory. The device, developed by the research groups led by the theorist Oriol Romero-Isart and the experimental physicist Gerhard Kirchmair, could open up a number of new applications.

Electric diodes are essential electronic components that conduct electricity in one direction but prevent conduction in the opposite one. They are found at the...

Im Focus: Millimeterwellen für die letzte Meile

ETH-Forscher haben einen Modulator entwickelt, mit dem durch Millimeterwellen übertragene Daten direkt in Lichtpulse für Glasfasern umgewandelt werden können. Dadurch könnte die Überbrückung der «letzten Meile» bis zum heimischen Internetanschluss deutlich schneller und billiger werden.

Lichtwellen eigenen sich wegen ihrer hohen Schwingungsfrequenz hervorragend zur schnellen Übertragung von Daten.

Im Focus: Nonstop-Transport von Frachten in Nanomaschinen

Max-Planck-Forscher entdecken die Nanostruktur von molekularen Zügen und den Grund für reibungslosen Transport in den „Antennen der Zelle“

Eine Zelle bewegt sich ständig umher, tastet ihre Umgebung ab und sendet Signale an andere Zellen. Das ist wichtig, damit eine Zelle richtig funktionieren kann.

Im Focus: Nonstop Tranport of Cargo in Nanomachines

Max Planck researchers revel the nano-structure of molecular trains and the reason for smooth transport in cellular antennas.

Moving around, sensing the extracellular environment, and signaling to other cells are important for a cell to function properly. Responsible for those tasks...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

VideoLinks
Industrie & Wirtschaft
Veranstaltungen

Podiumsdiskussion zur 11. Internationalen MES-Tagung in Hannover hochkarätig besetzt

21.11.2018 | Veranstaltungen

Hüftprothese: Minimalinvasiv oder klassisch implantieren? Implantatmodell wichtiger als OP-Methode

21.11.2018 | Veranstaltungen

Personalisierte Implantologie – 32. Kongress der DGI

19.11.2018 | Veranstaltungen

VideoLinks
Wissenschaft & Forschung
Weitere VideoLinks im Überblick >>>
 
Aktuelle Beiträge

Podiumsdiskussion zur 11. Internationalen MES-Tagung in Hannover hochkarätig besetzt

21.11.2018 | Veranstaltungsnachrichten

gbo datacomp punktete auf Mittelstandskonferenz in Berlin mit Ergebnissen des Forschungsprojektes „quadrika“

21.11.2018 | Unternehmensmeldung

Erste Diode für Magnetfelder

21.11.2018 | Physik Astronomie

Weitere B2B-VideoLinks
IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics