Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Ein Ausblick in die Zukunft der Nanofertigung

08.08.2005


Um den Anforderungen an sehr kleine integrierte Schaltkreise zu entsprechen, wurden mit dem Projekt UV2Litho die Tools und Methoden zur Einführung der 157nm-, oder Vakuumultraviolett (VUV)-, Lithografie geschaffen.



Seit dem Eintritt ins Informationszeitalter sind Halbleiterelemente bei steigender Kapazität und schrumpfenden Abmessungen immer schneller geworden. Für weitere Leistungssteigerungen ist eine dichtere Anordnung der integrierten Schaltkreise mit geringeren Linienstärken die Voraussetzung. VUV ist eine sehr viel versprechende Lithografietechnik, um diese Ziele zu erreichen, die erst kürzlich zu ihrem vollen Potenzial entwickelt wurde.



1999 hatte die International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) die VUV-Lithografie (157nm Belichtungswellenlänge) zur Herstellung von 100nm- und 70nm-Nodes angeregt. Ein Schlüsselproblem lag in der sehr kurzen Zeitspanne zwischen der Vermarktung von 157nm-Step-Scan-Systemen und der Überleitung der Lithografietechnik in die Produktion.

Davon angetrieben konzentrierte man sich im Rahmen des UV2Litho-Projekts auf die Beschleunigung der Prozessentwicklung zur Einführung der VUV-Lithografietechnik in die Produktionslinien. Daher wurden umfassende Untersuchung zur Erstellung von Resist-Verfahren durchgeführt, mit denen 157nm-Resist-Lösungen für 70nm-Nodes demonstriert werden konnten. Zusätzlich wurden Informationen über die Druckleistungen erster 157nm-Strichplatten für die Branche der Maskenherstellung öffentlich.

Trotzdem wurde daneben mit der 193nm-Immersionslithografie sehr schnell eine alternative Technologie entwickelt, mit der Grundraster kleiner als 70nm möglich werden sollten. Auf der anderen Seite konnte die 157nm-basierte Industrie die sehr strengen Anforderungen für die mit ihr verbundenen Technikkomponenten nicht erfüllen. Aus diesen Gründen wandte sich das Marktinteresse von der 157nm-Technologie ab und konzentrierte sich stattdessen auf die 193nm-Immersionslithografie.

Davon abgesehen ist, gemessen am Produktionswert, die Umsetzbarkeit der 193nm-Immersionstechnik noch immer nicht völlig erwiesen. Wie auch in der aktuellen ITRS-Roadmap dargestellt, wird für den Fall deren Fehlschlages der 157nm-Lithografie die Nachfolge eingeräumt. Mit dem Projekt UV2Litho wurde die Basisarbeit für die Nutzung der VUV-Lithografie geleistet.

Dr. Peter Zandbergen | ctm
Weitere Informationen:
http://www.philips.com
http://www.imec.be/uv2litho/

Weitere Berichte zu: 193nm-Immersionslithografie 70nm-Nodes VUV VUV-Lithografie

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Physik Astronomie:

nachricht Unser Gehirn behält das Unerwartete im Blick
17.08.2018 | Philipps-Universität Marburg

nachricht Eisen und Titan in der Atmosphäre eines Exoplaneten entdeckt
16.08.2018 | Universität Bern

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Physik Astronomie >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Farbeffekte durch transparente Nanostrukturen aus dem 3D-Drucker

Neues Design-Tool erstellt automatisch 3D-Druckvorlagen für Nanostrukturen zur Erzeugung benutzerdefinierter Farben | Wissenschaftler präsentieren ihre Ergebnisse diese Woche auf der angesehenen SIGGRAPH-Konferenz

Die meisten Objekte im Alltag sind mit Hilfe von Pigmenten gefärbt, doch dies hat einige Nachteile: Die Farben können verblassen, künstliche Pigmente sind oft...

Im Focus: Color effects from transparent 3D-printed nanostructures

New design tool automatically creates nanostructure 3D-print templates for user-given colors
Scientists present work at prestigious SIGGRAPH conference

Most of the objects we see are colored by pigments, but using pigments has disadvantages: such colors can fade, industrial pigments are often toxic, and...

Im Focus: Eisen und Titan in der Atmosphäre eines Exoplaneten entdeckt

Forschende der Universitäten Bern und Genf haben erstmals in der Atmosphäre eines Exoplaneten Eisen und Titan nachgewiesen. Die Existenz dieser Elemente in Gasform wurde von einem Team um den Berner Astronomen Kevin Heng theoretisch vorausgesagt und konnte nun von Genfern Astronominnen und Astronomen bestätigt werden.

Planeten in anderen Sonnensystemen, sogenannte Exoplaneten, können sehr nah um ihren Stern kreisen. Wenn dieser Stern viel heisser ist als unsere Sonne, dann...

Im Focus: Magnetische Antiteilchen eröffnen neue Horizonte für die Informationstechnologie

Computersimulationen zeigen neues Verhalten von Antiskyrmionen bei zunehmenden elektrischen Strömen

Skyrmionen sind magnetische Nanopartikel, die als vielversprechende Kandidaten für neue Technologien zur Datenspeicherung und Informationsverarbeitung gelten....

Im Focus: Unraveling the nature of 'whistlers' from space in the lab

A new study sheds light on how ultralow frequency radio waves and plasmas interact

Scientists at the University of California, Los Angeles present new research on a curious cosmic phenomenon known as "whistlers" -- very low frequency packets...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

VideoLinks
Industrie & Wirtschaft
Veranstaltungen

LaserForum 2018 thematisiert die 3D-Fertigung von Komponenten

17.08.2018 | Veranstaltungen

Aktuelles aus der Magnetischen Resonanzspektroskopie

16.08.2018 | Veranstaltungen

DFG unterstützt Kongresse und Tagungen - Oktober 2018

16.08.2018 | Veranstaltungen

VideoLinks
Wissenschaft & Forschung
Weitere VideoLinks im Überblick >>>
 
Aktuelle Beiträge

Bionik im Leichtbau

17.08.2018 | Verfahrenstechnologie

Klimafolgenforschung in Hannover: Kleine Pflanzen gegen große Wellen

17.08.2018 | Biowissenschaften Chemie

HAWK-Ingenieurinnen und -Ingenieure entwickeln die leichteste 9to-LKW-Achse ihrer Art

17.08.2018 | Messenachrichten

Weitere B2B-VideoLinks
IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics