Fraunhofer IWS Dresden präsentiert Wafermessplatz auf der Hannover-Messe 2004
Optische Simulation zur Konstruktion des FTIR-Reflexionsmessgerätes
Neues Messgerät bestens zur FTIR-Qualitätskontrolle von 300 mm-Wafern geeignet
Auf der Hannover-Messe 2004 zeigen wir neueste Ergebnisse aus der Oberflächentechnik auf dem Gemeinschaftsstand des VDI „SurfPlaNet“ in Halle 5 / Stand D10. Es wird neben neuartigen Schutzschichten aus superhartem, amorphem Kohlenstoff (Diamor®) erstmals ein Wafermessplatz zur FTIR-Qualitätskontrolle von 300 mm-Wafern präsentiert, welcher insbesondere in der Dresdner Halbleiterindustrie eingesetzt werden kann.
In den letzten Jahren hat sich Dresden zu einem europäischen Zentrum der Halbleiterindustrie entwickelt. Firmen wie AMD, Infineon und ZMD forschen und produzieren hier; zahlreiche Zulieferfirmen haben sich angesiedelt. Erst im November vergangenen Jahres hat sich AMD entschlossen, in Dresden ein weiteres Werk zu errichten. Mittlerweile gibt es auch zahlreiche Kooperationen mit den Dresdner Forschungsinstituten.
Die Anforderungen der Halbleiterindustrie haben zur Entwicklung eines Messplatzes mittels Fourier-Transformations-Infrarot-Spektroskopie (FTIR) geführt. Er wurde für die Qualitätskontrolle von 300 mm-Wafern oder auch von anderen Halbzeugen und ausgedehnten Bauteilen aufgebaut. Damit können auf einfache Art und Weise die optischen Eigenschaften und deren laterale Verteilung sowie die Wafertopologie (Schichtdicken, Rauheiten) ermittelt werden. Die Ergebnisse des IWS stellen einen wichtigen Schritt zur Qualitätssicherung bei der Beschichtung großer Wafer in der Halbleiterindustrie dar und sind nicht nur für die Dresdner Halbleiterfirmen sehr interessant.
Das Dresdner Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung auf den Gebieten Oberflächentechnik und Lasertechnik. Ziel ist es, den Kunden des IWS Problemlösungen anbieten zu können und sie bei der industriellen Einführung zu unterstützen. Schwerpunkt der Präsentation auf der Hannover-Messe 2004 sind innovative Technologien und Systemkomponenten zur Beschichtung und Vergütung von Oberflächen sowie deren Charakterisierung.
Besuchen Sie uns auf der Hannover-Messe Industrie 2004 im Bereich „Oberflächentechnik“ in Halle 5 Stand D10.
Ihre Ansprechpartner für weitere Informationen:
Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS Dresden
01277 Dresden, Winterbergstr. 28
Dr. Wulf Grählert
Telefon: (0351) 25 83 406
Telefax: (0351) 25 83 300
E-mail: wulf.graehlert@iws.fraunhofer.de
Presse und Öffentlichkeitsarbeit
Dr. Ralf Jäckel
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Telefax: (0351) 25 83 300
E-mail: ralf.jaeckel@iws.fraunhofer.de
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