Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Auf dem Weg zu noch größeren Wafern

28.09.2010
Europäisches Verbundprojekt forscht an der nächsten Generation von Halbleiterscheiben mit 450 mm Durchmesser

Bauelemente der Mikro- und Nanoelektronik werden auf Halbleiterscheiben aus Silicium, sogenannten Wafern, produziert. Deren Durchmesser hat in den letzten Jahrzehnten von ein paar Millimetern auf inzwischen 300 mm zugenommen. Nachdem sich die Fertigung hier etabliert hat, wird nun weltweit der nächste Schritt zur Produktivitätssteigerung in Angriff genommen.

Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) ist einer von zehn deutschen Partnern in einem europäischen Verbundprojekt, das die Fertigung auf Wafern mit einem Durchmesser von 450 mm erforscht. Mit ihnen wird die für Bauelemente zur Verfügung stehende Fläche mehr als verdoppelt, was zu einer signifikanten Erhöhung der Ausbeute und damit verbunden zu einer Senkung der Fertigungskosten führen wird.

Um dieses Ziel zu erreichen, ist im Vorfeld ein erheblicher Forschungsaufwand zu leisten – nicht nur im Bereich dieser großen Halbleiterscheiben selbst, sondern ebenso bei den Handhabungsrobotern und den Fertigungsgeräten. Für die in Deutschland und Europa beheimateten Geräte-, Automatisierungs- und Materialhersteller ist jetzt der richtige Zeitpunkt, ihre weltweit anerkannte Expertise auf dieses Zukunftsfeld auszudehnen.

Deshalb haben sich insgesamt 27 europäische Unternehmen und institutionelle Forschungseinrichtungen aus den Branchen Halbleiterindustrie, Geräte- und Materialhersteller zum Verbundprojekt EEMI450 (European Equipment & Materials Initiative for 450 mm) zusammengeschlossen, mit dem Ziel, 450-mm-Technologie und -Know-how für den Standort Europa zu sichern. Die Koordination des gesamten europäischen Projektverbunds wird von ASM International wahrgenommen.

Der deutsche Teil des Projektkonsortiums bestehend aus den 10 Verbundpartnern AIXTRON AG, Fraunhofer Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF, Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB, Mattson Thermal Products GmbH, NanoPhotonics GmbH, Physikalisch Technische Bundesanstalt, PVA TePla AG, SemiQuarz GmbH, Siltronic AG und Vistec Electron Beam GmbH wird von Siltronic AG koordiniert. Seit dem 1. Juni 2010 haben die Projektpartner ihre Arbeit für eine Laufzeit von 21 Monaten aufgenommen.

Das Projekt wird einerseits im Rahmen von ENIAC (European Nanoelectronics Initiative Advisory Council) seitens der EU und andererseits für die deutschen Teilnehmer vom BMBF auf Basis der Hightech-Strategie „IKT2020“ (Informations- und Kommunikationstechnologien 2020) gefördert. Mittelfristiges Ziel der BMBF-Fördermaßnahme ist es, die Wettbewerbsfähigkeit des Forschungs-, Produktions- und Arbeitsplatzstandortes Deutschland im Bereich IKT zu festigen und weiter auszubauen. Dies gilt gleichermaßen für das gesamte europäische Verbundvorhaben in Bezug auf den europäischen Halbleiterstandort.

ptb/es

Ansprechpartner
Dr. Burkhard Beckhoff, PTB-Arbeitsgruppe 7.12 Röntgenspektrometrie,
Tel.: (030) 6392 3231, E-Mail: burkhard.beckhoff@ptb.de

Erika Schow | PTB
Weitere Informationen:
http://www.ptb.de

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Materialwissenschaften:

nachricht Neue Oberflächeneigenschaften für holzbasierte Werkstoffe
14.08.2018 | INNOVENT e.V. Technologieentwicklung Jena

nachricht Europaweit einzigartiges Forschungszentrum geht an den Start
14.08.2018 | Technische Universität Chemnitz

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Materialwissenschaften >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Farbeffekte durch transparente Nanostrukturen aus dem 3D-Drucker

Neues Design-Tool erstellt automatisch 3D-Druckvorlagen für Nanostrukturen zur Erzeugung benutzerdefinierter Farben | Wissenschaftler präsentieren ihre Ergebnisse diese Woche auf der angesehenen SIGGRAPH-Konferenz

Die meisten Objekte im Alltag sind mit Hilfe von Pigmenten gefärbt, doch dies hat einige Nachteile: Die Farben können verblassen, künstliche Pigmente sind oft...

Im Focus: Color effects from transparent 3D-printed nanostructures

New design tool automatically creates nanostructure 3D-print templates for user-given colors
Scientists present work at prestigious SIGGRAPH conference

Most of the objects we see are colored by pigments, but using pigments has disadvantages: such colors can fade, industrial pigments are often toxic, and...

Im Focus: Eisen und Titan in der Atmosphäre eines Exoplaneten entdeckt

Forschende der Universitäten Bern und Genf haben erstmals in der Atmosphäre eines Exoplaneten Eisen und Titan nachgewiesen. Die Existenz dieser Elemente in Gasform wurde von einem Team um den Berner Astronomen Kevin Heng theoretisch vorausgesagt und konnte nun von Genfern Astronominnen und Astronomen bestätigt werden.

Planeten in anderen Sonnensystemen, sogenannte Exoplaneten, können sehr nah um ihren Stern kreisen. Wenn dieser Stern viel heisser ist als unsere Sonne, dann...

Im Focus: Magnetische Antiteilchen eröffnen neue Horizonte für die Informationstechnologie

Computersimulationen zeigen neues Verhalten von Antiskyrmionen bei zunehmenden elektrischen Strömen

Skyrmionen sind magnetische Nanopartikel, die als vielversprechende Kandidaten für neue Technologien zur Datenspeicherung und Informationsverarbeitung gelten....

Im Focus: Unraveling the nature of 'whistlers' from space in the lab

A new study sheds light on how ultralow frequency radio waves and plasmas interact

Scientists at the University of California, Los Angeles present new research on a curious cosmic phenomenon known as "whistlers" -- very low frequency packets...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

VideoLinks
Industrie & Wirtschaft
Veranstaltungen

LaserForum 2018 thematisiert die 3D-Fertigung von Komponenten

17.08.2018 | Veranstaltungen

Aktuelles aus der Magnetischen Resonanzspektroskopie

16.08.2018 | Veranstaltungen

DFG unterstützt Kongresse und Tagungen - Oktober 2018

16.08.2018 | Veranstaltungen

VideoLinks
Wissenschaft & Forschung
Weitere VideoLinks im Überblick >>>
 
Aktuelle Beiträge

Bionik im Leichtbau

17.08.2018 | Verfahrenstechnologie

Klimafolgenforschung in Hannover: Kleine Pflanzen gegen große Wellen

17.08.2018 | Biowissenschaften Chemie

HAWK-Ingenieurinnen und -Ingenieure entwickeln die leichteste 9to-LKW-Achse ihrer Art

17.08.2018 | Messenachrichten

Weitere B2B-VideoLinks
IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics