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Rauheit polierter Oberflächen mit Weißlichtinterferometrie bestimmen

11.02.2008
Mit dem Coherence Correlation Interferometer Talysurf CCI 6000 von Ametek – Taylor Hobson lassen sich unter anderem Rauheiten an polierten Optiken schnell und zuverlässig bestimmen. Das Design des Weißlicht-Interferometers mit nur wenigen optischen Komponenten und einer (aktiven) Schwingungsdämpfung ermöglicht eine gleichmäßig ausgeleuchtete und stabile Untersuchung der Probek, so der Hersteller.

Durch Einsatz einer externen Lichtquelle findet eine Wärmeentwicklung im Gehäuse nicht statt und mögliche Abbildungsfehler durch Materialexpansion können ausgeschlossen werden. Aufgrund des quadratischen CCD-Chips mit mehr als 1 Mio. Pixel sind ein optischer Zoom oder ein Objektivwechsel (Turret) nicht notwendig. Instabilitäten werden vermieden und eine zeitaufwendige Kalibrierung entfällt.

Die Genauigkeit bei der Peak- und Phasenbestimmung des schnellen CCI-Algorithmus sowie dessen präzise Steuerung des vertikalen Messbereichs, unterstützt durch das geringe Gewicht eines Einzelobjektivs, gewährleisteten eine laterale Auflösung in X- und Y- sowie Z-Richtung von 0,01 nm und ermöglichten es, so die Anforderungen an Rauheitsmessungen zu erfüllen.

Mit einer typischen Messzeit von nur 5 bis 20 Sekunden trage der CCI-Algorithmus zu einem zeiteffizienten Probendurchsatz bei. Anwendungsgebiete finden sich unter anderem in der Optik- und Halbleiterindustrie sowie in der Automobilindustrie.

Jürgen Schreier | MM MaschinenMarkt
Weitere Informationen:
http://www.maschinenmarkt.vogel.de/themenkanaele/produktion/messundprueftechnik/bildverarbeitung/articles/108819/

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